맞춤기술찾기

이전대상기술

원자층 증착법에 의한 루테늄 박막 형성 방법 및 그를 이용한 루테늄 박막

  • 기술번호 : KST2015190501
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 원자층 증착법에 의한 루테늄 박막 형성 방법 및 그를 이용한 루테늄 박막이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 루테늄 박막의 형성 방법은, 챔버 내의 기판으로 루테늄(Ru) 함유 전구체를 공급하는 단계; 챔버로부터 루테늄(Ru) 함유 전구체를 퍼지하는 단계; 기판으로 반응 가스를 공급하는 단계; 및 챔버로부터 반응 가스를 퍼지하는 단계를 포함하고, 루테늄 함유 전구체는 상기 루테늄 함유 전구체는 C14H18Ru[(EthylBenzen)(CycloHexadiene)Ru, EBCHRu]이다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01)
CPC H01L 21/28556(2013.01) H01L 21/28556(2013.01) H01L 21/28556(2013.01)
출원번호/일자 1020120009749 (2012.01.31)
출원인 영남대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1309043-0000 (2013.09.10)
공개번호/일자 10-2013-0088487 (2013.08.08) 문서열기
공고번호/일자 (20130917) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.01.31)
심사청구항수 4

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 영남대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 경산시

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김수현 대한민국 대구 수성구
2 여승민 대한민국 대구 수성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인씨엔에스 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 영남대학교 산학협력단 경상북도 경산시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2012-0080924-22
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.07.16 수리 (Accepted) 1-1-2012-0565368-33
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.12.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.01.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0002182-32
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0200013-17
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.05.21 수리 (Accepted) 1-1-2013-0447644-30
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.05.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0447648-12
8 등록결정서
Decision to grant
2013.09.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0627795-39
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2014-5029868-88
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2014-5037590-23
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2017-5175631-14
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5220555-67
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
챔버 내의 기판으로 루테늄(Ru) 함유 전구체를 공급하는 단계;상기 챔버로부터 상기 루테늄(Ru) 함유 전구체를 퍼지하는 단계;상기 기판으로 반응 가스를 공급하는 단계; 및상기 챔버로부터 상기 반응 가스를 퍼지하는 단계를 포함하고, 상기 루테늄 함유 전구체는 C14H18Ru[(EthylBenzen)(CycloHexadiene)Ru, EBCHRu]이고,상기 단계들을 순차적으로 1회씩 수행하는 것을 하나의 증착 사이클이라 할 때, 루테늄 박막 형성의 잠복 기간(incubation period)은 10회의 증착 사이클보다 작은 것을 특징으로 하는 원자층 증착법에 의한 루테늄 박막 형성 방법
2 2
제1 항에 있어서, 상기 단계들은 180 ℃ 내지 280 ℃ 범위의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 원자층 증착법에 의한 루테늄 박막 형성 방법
3 3
제1 항에 있어서, 상기 단계들을 순차적으로 1회씩 수행하는 것을 하나의 증착 사이클이라 할 때, 루테늄 박막의 증착율은 0
4 4
삭제
5 5
제1 항에 있어서, 상기 반응 가스는 O2, H2O, O2 플라즈마, O3, NH3 플라즈마, N2 및 H2 플라즈마, 및 NH3 가스 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 원자층 증착법에 의한 루테늄 박막 형성 방법
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
삭제
10 10
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 영남대학교 산업원천기술개발사업 초미세 고신뢰성 배선기술