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플렉서블 기판;상기 플렉서블 기판을 실질적으로 수직으로 관통하면서 상기 플렉서블 기판의 상면 및 하면 밖으로 돌출된 실리콘 와이어 어레이; 상기 실리콘 와이어 어레이의 상기 상면 밖으로 돌출된 영역을 덮는 상부전극; 및상기 실리콘 와이어 어레이의 상기 하면 밖으로 돌출된 영역을 덮는 하부전극을 구비하며, 상기 실리콘 와이어 어레이에 포함된 각각의 실리콘 와이어는 코어-쉘 형태의 p-n 접합구조를 가짐으로써 광을 전기로 변환하는 것인 광전변환 소자
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제1 항에 있어서,상기 실리콘 와이어는 p형 또는 n형이고, 상기 실리콘 와이어의 적어도 일부분이 반대 극성의 물질로 덮거나 도핑하여 코어-쉘 형태의 상기 p-n 접합구조를 가지며, 상기 플렉서블 기판을 중심으로 상기 실리콘 와이어가 상기 쉘로 덮인 부분과 상기 코어가 노출된 부분으로 나뉨으로써, p형 영역과 n형 영역이 격리되는 광전변환 소자
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제1 항에 있어서,상기 플렉서블 기판은 경화성 물질로 제조되는 광전변환 소자
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제2 항에 있어서,상기 p형 영역 및 상기 n형 영역 중 적어도 하나에 투명 전극이 정각(conformal) 형태로 배치된 광전변환 소자
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제1 항에 있어서,상기 실리콘 와이어 어레이는 주기적이고 규칙적인 배열을 갖는 광전변환 소자
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제2 항에 있어서,상기 플렉서블 기판의 한쪽 면에는 태양전지가 형성되고 다른 쪽 면에는 발광다이오드가 형성된 광전변환 소자
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실리콘 기판 위에 실리콘 와이어 어레이를 형성하는 단계;상기 실리콘 기판 위에 산화막을 증착하는 단계;상기 산화막 위로 돌출된 상기 실리콘 와이어에 불순물을 도핑하거나 반대 극성의 물질을 증착하여 코어-쉘 형태의 p-n 접합구조를 형성하는 단계;상기 산화막을 에칭하여 상기 p-n 접합구조와 상기 산화막 사이에 간극을 형성하는 단계;상기 실리콘 와이어 어레이 위에 경화성 물질을 도포하고 경화시켜 상기 실리콘 기판 위에 플렉서블 기판을 형성하되, 상기 p-n 접합구조 중 상기 쉘 부분만 노출되도록 하는 단계;상기 플렉서블 기판 하부의 산화물을 제거하여 상기 플렉서블 기판 하부 쪽으로 상기 실리콘 와이어가 노출되도록 하는 단계; 및상기 실리콘 기판으로부터 상기 실리콘 와이어를 분리함으로써 상기 실리콘 와이어가 상기 플렉서블 기판을 관통하며 양쪽으로 돌출되도록 하는 단계를 포함하는 광전변환 소자의 제조방법
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제7 항에 있어서,상기 실리콘 와이어 어레이의 형성은 전기화학적 에칭에 의해 수행되는 광전변환 소자의 제조방법
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제8 항에 있어서,상기 전기화학적 에칭 단계 이전에 사전 패터닝을 수행하여 상기 실리콘 와이어 어레이가 주기적 구조를 갖도록 하는 광전변환 소자의 제조방법
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제7 항에 있어서,상기 산화막의 증착은 튜브 로 장비를 사용하여 산소 또는 수증기의 진행 방향과 평행한 방향으로 상기 실리콘 와이어를 배치하여 수행되는 광전변환 소자의 제조방법
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제8 항에 있어서,상기 전기화학적 에칭 단계에서 보조 전극을 루프 링 형태로 사용하는 광전변환 소자의 제조방법
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