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태양전지의 광흡수층 제조 방법에 있어서,기판 준비 단계;상기 기판 상에 후면 전극을 적층하는 단계;상기 후면 전극층 상에 금속 전구체를 적층하는 단계; 및상기 후면 전극층과 금속 전구체층이 적층된 기판을 셀레늄 분위기에서 열처리하는 단계를 포함하는 태양전지 광흡수층 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 금속 전구체를 적층하는 단계는,구리 또는 그 황화물, 아연 황화물, 및 주석 황화물을 타겟으로 구리아연주석황화물 전구체를 진공 증착하는 태양전지 광흡수층 제조방법
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제 2 항에 있어서,상기 금속 전구체층은 최상부에 구리가 배치되는 태양전지 광흡수층 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 금속 전구체를 적층하는 단계는,상기 후면 전극 층 상에 아연 황화물 전구체를 적층하는 단계;상기 아연 황화물 전구체 층 상에 주석 황화물 전구체를 적층하는 단계; 및상기 주석 황화물 전구체 층 상에 구리 또는 구리 황화물 전구체를 적층하는 단계를 순차적으로 수행하는 태양전지 광흡수층 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 금속 전구체를 적층하는 단계는,상기 후면 전극 층 상에 주석 황화물 전구체를 적층하는 단계;상기 주석 황화물 전구체 층 상에 아연 황화물 전구체를 적층하는 단계; 및상기 아연 황화물 전구체 층 상에 구리 또는 그 황화물 전구체를 적층하는 단계를 순차적으로 수행하는 태양전지 광흡수층 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 후면 전극층은 몰리브데늄(Mo) 박막인 태양전지 광흡수층 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 열처리 단계는,상기 후면 전극층과 금속 전구체층이 적층된 기판을 셀레늄 가스 또는 H2Se 가스 분위기에서 열처리하는 태양전지 광흡수층 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 셀레늄 분위기에서 열처리하는 단계를 수행한 후, 황 분위기에서 열처리하는 단계를 추가로 포함하는 태양전지 광흡수층 제조방법
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제 2 항에 있어서,상기 구리아연주석황화물 전구체는 아연 황화물, 주석 황화물, 및 구리 또는 구리 황화물 타겟을 동시에 공증착하여 형성하는 태양전지 광흡수층 제조방법
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아연 황화물, 주석 황화물, 및 구리 또는 구리 황화물을 타겟으로 구리-아연-주석-황화물 전구체를 기판 상에 증착하는 단계;상기 구리-아연-주석-황화물 전구체 상에 셀레늄을 증착하는 단계; 및상기 단계에서 상기 셀레늄이 증착된 기판을 열처리하여 구리-아연-주석-황-셀렌화물 광흡수층을 형성하는 단계를 포함하는 태양전지의 광흡수층 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 구리-아연-주석-황화물 전구체를 기판 상에 증착하는 단계에서,상기 구리가 상부에 배치되는 태양전지의 광흡수층 제조방법
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제 10 항에 있어서,상기 열처리하는 단계에서,상기 기판은 셀레늄 분위기에서 열처리하는 태양전지의 광흡수층 제조방법
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제 12 항에서,상기 셀레늄 분위기에서 열처리하는 단계를 수행한 후,황 분위기에서 열처리하는 단계를 추가로 포함하는 태양전지의 광흡수층 제조방법
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