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ＣＺＴＳ계 태양전지용 박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015190897
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 CZTS계 태양전지용 박막의 제조방법으로서, (a) 기판을 준비하는 단계; (b) 기판 위에 구리 전구체, 아연 전구체, 주석 전구체 및 VI족 원소의 전구체를 함유하는 CZTS계 광흡수층 전구체를 증착하여 전구체층을 형성하는 단계; 및 (c) 전구체층을 열처리하여 광흡수층을 제조하는 단계를 포함하고, 상기 열처리는 VI족 원소의 추가적인 공급이 없이 진행되고, 열처리시 열에너지가 기판 후면으로부터 전구체층으로 전달되도록 하는 방법에 관한 것이다.
Int. CL H01L 31/0272 (2006.01) H01L 31/0264 (2006.01) H01L 31/0445 (2014.01) H01L 31/046 (2014.01)
CPC H01L 31/0445(2013.01) H01L 31/0445(2013.01) H01L 31/0445(2013.01) H01L 31/0445(2013.01)
출원번호/일자 1020140147345 (2014.10.28)
출원인 재단법인대구경북과학기술원
등록번호/일자 10-1582200-0000 (2015.12.28)
공개번호/일자 10-2015-0051151 (2015.05.11) 문서열기
공고번호/일자 (20160120) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020130131671   |   2013.10.31
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.10.28)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인대구경북과학기술원 대한민국 대구 달성군 현

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 고병수 대한민국 대구광역시 달서구
2 전동환 대한민국 대구광역시 동구
3 황대규 대한민국 대구광역시 달성군 화원읍 구
4 강진규 대한민국 대구광역시 수성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 남앤남 대한민국 서울특별시 중구 서소문로 ** (서소문동, 정안빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인대구경북과학기술원 대한민국 대구 달성군 현
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-1034275-89
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.04.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0040067-49
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.06.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0403521-29
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.08.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0787226-13
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.08.13 수리 (Accepted) 1-1-2015-0787225-78
7 등록결정서
Decision to grant		 2015.12.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0897722-07
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.18 수리 (Accepted) 4-1-2018-5260250-39
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.18 수리 (Accepted) 4-1-2020-5134633-04
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번호 청구항
1 1
CZTS계 태양전지용 박막의 제조방법으로서,(a) 기판을 준비하는 단계;(b) 기판 위에 구리 전구체, 아연 전구체, 주석 전구체 및 VI족 원소의 전구체를 함유하는 CZTS계 광흡수층 전구체를 증착하여 전구체층을 형성하되, 상기 전구체 내의 [VI족 원소]/[구리+아연+주석]의 원소비가 1
2 2
제 1항에 있어서, 상기 광흡수층의 평균결정입도가 700nm 이상인 것을 특징으로 하는 방법
3 3
제 1항에 있어서,상기 열처리가 500℃ 내지 650℃의 온도에서 1분 내지 20분 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 방법
4 4
제 1항에 있어서,상기 열처리가 1차적으로 200℃ 내지 300℃의 온도에서 1분 내지 10분 동안 수행된 다음, 2차적으로 500℃ 내지 650℃의 온도에서 1분 내지 10분 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 방법
5 5
제 1항에 있어서,상기 열처리가 700Torr 내지 800Torr의 압력하에서 수행되는 것을 특징으로 하는 방법
6 6
제 1항에 있어서,상기 열처리가 불활성 기체 분위기 하에서 수행되는 것을 특징으로 하는 방법
7 7
제 1항에 있어서,상기 준비된 기판 위에 후면 전극을 형성하는 단계를 추가로 수행한 후, 기판에 형성된 후면 전극 위에 전구체층을 형성시키는 것을 특징으로 하는 방법
8 8
제 7항에 있어서,상기 후면 전극이 몰리브덴 전극인 것을 특징으로 하는 방법
9 9
삭제
10 10
제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 전구체 내의 [구리]/[아연+주석]의 원소비가 0
11 11
제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 전구체 내의 [아연]/[주석]의 원소비가 0
12 12
제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 VI족 원소가 황, 셀레늄 또는 이들의 혼합물인 것을 특징으로 하는 방법
13 13
제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 제조된 박막을 포함하는 CZTS계 태양전지
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 대국경북과학기술원 신재생에너지기술개발사업 초저가 금속원소를 이용한 고효율 (14.5%) CZTS 화합물 박막 태양전지 기술 개발