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전자파를 이용한 화합물 박막 태양전지용 버퍼층 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015190898
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전자파를 사용하여 화합물 박막 태양전지용 버퍼층을 제조하는 방법에 관한 것으로, 종래의 화학조 침착법의 열원 공급 방법인 항온조를 통한 전달 방식 대신에 전자파의 유전 가열방식을 사용하여 버퍼층을 증착한다. 이를 통해 빠르고 균일하게 화학조 내부 용액 온도를 상승시켜 공정 시간을 단축하고, 증착하고자 하는 기판에 열원을 균일하게 공급함으로서 양질의 박막을 빠르게 증착할 수 있다.
Int. CL H01L 31/042 (2014.01) H01L 31/18 (2006.01) H01L 31/06 (2006.01)
CPC H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01)
출원번호/일자 1020140139016 (2014.10.15)
출원인 재단법인대구경북과학기술원
등록번호/일자 10-1488202-0000 (2015.01.26)
공개번호/일자 10-2014-0139445 (2014.12.05) 문서열기
공고번호/일자 (20150206) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2012-0128288 (2012.11.13)
관련 출원번호 1020120128288
심사청구여부/일자 Y (2014.10.15)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인대구경북과학기술원 대한민국 대구 달성군 현

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전동환 대한민국 대구광역시 달서구
2 황대규 대한민국 대구광역시 달성군 화원읍 구
3 성시준 대한민국 대구광역시 수성구
4 김대환 대한민국 대구광역시 수성구
5 이동하 대한민국 대구광역시 수성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 남앤남 대한민국 서울특별시 중구 서소문로 *** (서소문동, 대한항공빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인대구경북과학기술원 대한민국 대구 달성군 현
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2014.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2014-0981386-71
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2014.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-1019941-82
3 등록결정서
Decision to grant		 2015.01.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0048593-12
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.18 수리 (Accepted) 4-1-2018-5260250-39
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.18 수리 (Accepted) 4-1-2020-5134633-04
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번호 청구항
1 1
II 내지 VI 족 화합물 반도체 물질의 전구체를 포함하는 용액이 담긴 화학조에 기판을 디핑(dipping)하고 화학조에 전자파를 가하여 기판 위에 버퍼층을 형성시키는 단계를 포함하는 박막 태양전지용 버퍼층의 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 용액 내에 II 내지 VI 족 화합물 반도체 물질의 전구체가 물에 용액화되어 사용되는 박막 태양전지용 버퍼층의 제조방법
3 3
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 II 내지 VI 족 화합물 반도체 물질이 CdS, ZnS, InS, CdSe, ZnSe, Zn(O,S), InSe, Zn(Se,OH), Zn(OH,S), Zn(O,OH), In(OH,S), In(OH)3 및 In2S3로 이루어진 군으로부터 선택된 것인 박막 태양전지용 버퍼층의 제조방법
4 4
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 전자파가 200 MHz 내지 30 GHz의 주파수를 갖는 박막 태양전지용 버퍼층의 제조방법
5 5
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 버퍼층 증착시 사용되는 물질의 밴드갭 또는 격자 상수가 p-타입 흡수층 및 n-타입 윈도우층의 밴드갭 또는 격자 상수의 범위 내인 박막 태양전지용 버퍼층의 제조방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR1020140061618 KR 대한민국 FAMILY

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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 대구경북과학기술원 기관고유(일반) 차세대 융복합기술 개발