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외력이 작용하는 경우 구부러지는 기판;상기 기판의 일면에 소정의 간격으로 형성되며, 상기 기판의 구부러짐에 따라 간격이 좁아지거나 넓어지는 적어도 한 쌍의 마이크로 필러; 및상기 한 쌍의 마이크로 필러 상에 각각 형성되는 나노 니들;을 포함하고, 외부 전원과 연결되어 전원을 공급받으며, 상기 한 쌍의 마이크로 필러와 접촉하거나, 인접하여 위치하는 전극;을 더 포함하는 마이크로-나노 프루브
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제 1 항에 있어서,물리적 외력이 상기 기판의 영역 중 상기 한 쌍의 마이크로 필러 사이의 영역에 작용하는 경우 상기 기판이 상기 마이크로 필러가 형성되는 방향과 반대로 구부러져 상기 한 쌍의 마이크로 필러 사이의 간격이 넓어지는 것인 마이크로-나노 프루브
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제 1 항에 있어서,물리적 외력이 상기 기판의 영역 중 상기 한 쌍의 마이크로 필러의 양 외측에 작용하는 경우 상기 기판이 상기 마이크로 필러가 형성되는 방향으로 구부러져 상기 한 쌍의 마이크로 필러 사이의 간격이 좁아지는 것인 마이크로-나노 프루브
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제 1 항에 있어서,전기적 외력이 작용하는 경우, 상기 한 쌍의 마이크로 필러에 동일한 극성의 전압이 인가되면, 상기 기판이 상기 마이크로 필러가 형성되는 방향과 반대로 구부러져 상기 한 쌍의 마이크로 필러 사이의 간격이 넓어지는 것인 마이크로-나노 프루브
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제 1 항에 있어서,전기적 외력이 작용하는 경우, 상기 한 쌍의 마이크로 필러에 서로 다른 극성의 전압이 인가되면, 상기 기판이 상기 마이크로 필러가 형성되는 방향으로 구부러져 상기 한 쌍의 마이크로 필러 사이의 간격이 좁아지는 것인 마이크로-나노 프루브
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제 1 항에 있어서,상기 기판은 박막 형태의 절연체 또는 박막 형태의 금속으로 이루어지는 것인 마이크로-나노 프루브
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7
제 1 항에 있어서,상기 마이크로 필러와 상기 나노 니들에 코팅되는 금속막;을 더 포함하는 마이크로-나노 프루브
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제 1 항에 있어서,상기 전극은 상기 마이크로 필러의 하단을 감싸는 금속 링 또는 상기 마이크로 필러의 하단에 부착되거나 인접하여 위치하는 금속 편인 마이크로-나노 프루브
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마이크로 필러로 이용하고자 하는 구조체를 식각하여 모판과 마이크로 필러를 형성하는 단계;상기 마이크로 필러 상에 나노 니들을 형성하는 단계;상기 모판에 기판을 형성하는 단계; 및식각을 이용하여, 상기 마이크로 필러를 제외한 상기 모판을 제거하여 프루브를 제조하는 단계;를 포함하는 나노-마이크로 프루브 제조방법
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11
마이크로 필러로 이용하고자 하는 구조체를 식각하여 모판과 마이크로 필러를 형성하는 단계;상기 모판에 기판을 형성하는 단계;식각을 이용하여, 상기 마이크로 필러를 제외한 상기 모판을 제거하는 단계; 및상기 마이크로 필러에 나노 니들을 형성하여 프루브를 제조하는 단계;를 포함하는 나노-마이크로 프루브 제조방법
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제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,상기 나노 니들을 형성하는 단계는 성장법 또는 식각법을 이용하여 상기 나노 니들을 형성하는 것인 나노-마이크로 프루브 제조방법
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제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,상기 기판을 형성하는 단계는 상기 모판에 폴리머를 코팅하거나 금속 박막을 부착하여 상기 기판을 형성하는 것인 나노-마이크로 프루브 제조방법
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제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,상기 프루브를 제조하는 단계 이후에, 상기 마이크로 필러와 상기 나노 니들을 금속 재료로 코팅하는 단계;를 더 포함하는 나노-마이크로 프루브 제조방법
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제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,상기 프루브를 제조하는 단계 이후에, 상기 마이크로 필러와 접촉하거나 인접하는 전극을 형성하는 단계;를 더 포함하는 나노-마이크로 프루브 제조방법
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제 15 항에 있어서,상기 전극을 형성하는 단계는 상기 마이크로 필러의 하단을 감싸는 금속 링을 형성하는 것인 나노-마이크로 프루브 제조방법
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제 15 항에 있어서,상기 전극을 형성하는 단계는 상기 마이크로 필러의 하단에 부착되거나 인접하는 금속 편을 형성하는 것인 나노-마이크로 프루브 제조방법
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