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외부 음향의 주파수에 공진되도록 형성되고, 공진시 공진 주파수에 대응하는 전기 신호를 발생하도록 형성된 압전 부재;상기 압전 부재에서 발생된 전기 신호를 외부로 인출하도록 상기 압전 부재에 구비된 전극 부재; 및상기 압전 부재와 상기 전극 부재가 상면에 구비되고, 고막 등과 같이 굴곡된 표면을 갖는 신체 조직에 부착되도록 폴리머 소재로 형성된 박막 형상의 기판 부재;를 포함하며,상기 기판 부재에는 폭이 확장되는 형상으로 길게 형성된 공진홀부가 구비되고, 상기 공진홀부에는 상기 압전 부재와 상기 전극 부재가 빔 어레이 패턴으로 형성되며, 상기 빔 어레이는 상기 공진홀부를 따라 복수개가 서로 이격되게 배치된 인공와우용 음향 센서 장치
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제1항에 있어서,상기 전극 부재는, 상기 기판 부재의 상면과 상기 압전 부재의 하면 사이에 구비된 하부 전극 부재; 및 상기 압전 부재의 상면에 구비된 상부 전극 부재;를 구비한 인공와우용 음향 센서 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 압전 부재는 질화알루미늄 소재로 형성되고, 상기 기판 부재는 폴리다이메틸실록세인, 페럴린 또는 폴리아미드 중 적어도 어느 하나의 소재로 형성된 인공와우용 음향 센서 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 압전 부재와 상기 전극 부재 및 상기 기판 부재는 MEMS 기술을 이용하여 층 형상으로 적층된 구조로 형성된 인공와우용 음향 센서 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 공진홀부는 시계 방향 또는 반시계 방향 중 어느 하나의 방향을 따라 폭이 확장되도록 상기 기판 부재에 나선형 형상으로 형성되고,상기 빔 어레이는 상기 공진홀부에 양단 지지보 구조로 복수개가 일정 간격으로 이격되게 구비되는 인공와우용 음향 센서 장치
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실리콘 웨이퍼의 상면에 MEMS 기술을 이용하여 고막 등과 같은 신체 조직의 굴곡된 표면에 부착 가능하도록 폴리머 소재의 기판 부재를 얇은 막 형상으로 코팅하는 단계;상기 기판 부재의 상면에 하부 전극 부재를 증착하는 단계;상기 하부 전극 부재의 상면에 압전 부재를 증착하는 단계;상기 압전 부재의 상면에 상부 전극 부재를 증착하는 단계; 및상기 하부 전극 부재, 상기 압전 부재 및 상기 상부 전극 부재가 구비된 상기 기판 부재를 상기 실리콘 웨이퍼로부터 분리하는 단계;를 포함하고,상기 상부 전극 부재를 증착하는 단계 및 상기 기판 부재를 상기 실리콘 웨이퍼로부터 분리하는 단계의 사이에 실시하여 상기 기판 부재와 동일한 폴리머 소재로 패시베이션을 수행하는 단계;를 더 구비한 인공와우용 음향 센서 장치의 제조 방법
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제6항에 있어서,상기 하부 전극 부재와 상기 압전 부재 및 상기 상부 전극 부재는 빔 어레이 패턴으로 형성된 인공와우용 음향 센서 장치의 제조 방법
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제6항에 있어서,상기 폴리머 소재의 기판 부재를 코팅하는 단계에서는, 상기 기판 부재의 중앙 부위에 공진홀부를 나선형으로 형성하는 패터닝 공정을 수행하고, 상기 공진홀부를 따라 양단 지지보 형상의 빔 어레이를 형성하는 패터닝 공정을 수행하는 인공와우용 음향 센서 장치의 제조 방법
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