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적어도 하나 이상의 마이크로채널;상기 마이크로채널과 연결되는 적어도 하나 이상의 나노채널;상기 마이크로채널 및 상기 나노채널 내에서 전장을 유도하기 위한 전극을 포함하며, 상기 나노채널은 도핑된 반도체로 형성된 도핑된 반도체를 이용한 동전기적 농축장치
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청구항 1에서, 상기 도핑된 반도체는,P타입(P-Type) 반도체로 형성된 도핑된 반도체를 이용한 동전기적 농축장치
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청구항 2에서, 상기 P타입(P-Type) 반도체는,실리콘(Si)에 도핑된 붕소(B)로 구성된 반도체인 도핑된 반도체를 이용한 동전기적 농축장치
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청구항 1에서, 상기 도핑된 반도체는,N타입(N-Type) 반도체로 형성된 도핑된 반도체를 이용한 동전기적 농축장치
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청구항 4에서, 상기 N타입(N-Type) 반도체는,실리콘(Si)에 도핑된 인(P)으로 구성된 반도체인 도핑된 반도체를 이용한 동전기적 농축장치
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청구항 1에서, 상기 마이크로채널은,폭이 1~500㎛인 도핑된 반도체를 이용한 동전기적 농축장치
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청구항 1에서, 상기 마이크로채널은,깊이가 1~500㎛인 도핑된 반도체를 이용한 동전기적 농축장치
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청구항 1에서, 상기 나노채널은,폭이 1~50㎛인 도핑된 반도체를 이용한 동전기적 농축장치
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청구항 1에서, 상기 나노채널은,깊이가 10~100nm인 도핑된 반도체를 이용한 동전기적 농축장치
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청구항 1에서,상기 전극은,전압이 인가되며, 상기 인가되는 전압은 50mV 내지 500V 인 도핑된 반도체를 이용한 동전기적 농축장치
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청구항 1에서,상기 전극은,상기 마이크로채널의 애노드(anode)측과 캐소드(cathode)측에 동일한 전압을 인가하는 도핑된 반도체를 이용한 동전기적 농축장치
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청구항 1에서,상기 전극은,상기 마이크로채널의 캐소드(cathode)측에 비해 애노드(anode)측에 더 큰 전압을 인가하는 도핑된 반도체를 이용한 동전기적 농축장치
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청구항 1에서,상기 마이크로채널 및 상기 나노채널은, 리소그래피 및 에칭 공정에 의해 형성되는 도핑된 반도체를 이용한 동전기적 농축장치
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청구항 1에서,상기 마이크로채널 및 상기 나노채널은, 기하학적 형태로 배열되는 도핑된 반도체를 이용한 동전기적 농축장치
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청구항 1에서,상기 마이크로채널 및 상기 나노채널은, 서로 수직한 형태로 배열되는 도핑된 반도체를 이용한 동전기적 농축장치
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반도체 기판상에 적어도 하나 이상의 나노채널을 형성하는 단계;상기 나노채널과 연결되는 적어도 하나 이상의 마이크로채널을 형성하는 단계; 상기 나노채널 및 상기 마이크로채널이 형성된 기판을 도핑하여 도핑된 반도체를 형성하는 단계; 및상기 나노채널 및 상기 마이크로채널의 상부를 밀봉하기 위한 밀봉기판을 상기 나노채널 및 상기 마이크로채널이 형성된 기판에 접합하는 단계;를 포함하는 도핑된 반도체를 이용한 동전기적 농축장치의 제조방법
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청구항 16에서,상기 기판은,실리콘(Si)으로 형성되는 도핑된 반도체를 이용한 동전기적 농축장치의 제조방법
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청구항 16에서, 상기 도핑된 반도체는,P타입(P-Type) 반도체로 형성된 도핑된 반도체를 이용한 동전기적 농축장치의 제조방법
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청구항 18에서, 상기 P타입(P-Type) 반도체는,실리콘(Si)에 도핑된 붕소(B)로 구성된 반도체인 도핑된 반도체를 이용한 동전기적 농축장치의 제조방법
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청구항 16에서, 상기 도핑된 반도체는,N타입(N-Type) 반도체로 형성된 도핑된 반도체를 이용한 동전기적 농축장치의 제조방법
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청구항 20에서, 상기 N타입(N-Type) 반도체는,실리콘(Si)에 도핑된 인(P)으로 구성된 반도체인 도핑된 반도체를 이용한 동전기적 농축장치의 제조방법
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청구항 16에서, 상기 마이크로채널은,폭이 1~500㎛인 도핑된 반도체를 이용한 동전기적 농축장치의 제조방법
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청구항 16에서, 상기 마이크로채널은,깊이가 1~500㎛인 도핑된 반도체를 이용한 동전기적 농축장치의 제조방법
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청구항 16에서, 상기 나노채널은,폭이 1~50㎛인 도핑된 반도체를 이용한 동전기적 농축장치의 제조방법
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청구항 16에서, 상기 나노채널은,깊이가 10~100nm인 도핑된 반도체를 이용한 동전기적 농축장치의 제조방법
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청구항 16에서, 상기 접합하는 단계는,양극접합(anodic bonding)에 의해 접합하는 단계를 포함하는 도핑된 반도체를 이용한 동전기적 농축장치의 제조방법
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