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균일한 조성의 광흡수층을 포함하는 CZTS 박막 태양전지 및 그의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015191096
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 기재는CZTS계 박막 태양전지를 제조하는 방법으로서, 기판을 준비하는 단계 (S1), 상기 기판 상에 제 1 전극을 형성하는 단계 (S2); 상기 제 1 전극 상에 Cu 전구체, Sn 전구체 및 Zn 전구체를 증착하여, 각각 2 이상의 Cu 전구체층, Sn 전구체층 및 Zn 전구체층을 형성하는 단계 (S3); 및 상기 증착된 금속 전구체를 황화 또는 셀렌화 기체 분위기 하에서 열처리하여 광흡수층을 형성하는 단계 (S4)를 포함하며, 여기서, 상기 단계 (S3)는 상기 제 1 전극 상에 Zn 전구체층을 먼저 증착하고, Cu 전구체층의 양면이 Sn 전구체층과 인접하고, 상기 Sn 전구체층의 적어도 일면이 Zn 전구체층과 인접하록 금속 전구체를 증착하는 것을 포함한다.
Int. CL H01L 31/032 (2006.01.01) H01L 31/18 (2006.01.01) H01L 31/0224 (2006.01.01) H01L 31/0392 (2006.01.01) H01L 31/072 (2006.01.01)
CPC H01L 31/0326(2013.01) H01L 31/0326(2013.01) H01L 31/0326(2013.01) H01L 31/0326(2013.01) H01L 31/0326(2013.01)
출원번호/일자 1020130099638 (2013.08.22)
출원인 재단법인대구경북과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0023102 (2015.03.05) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.05.24)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인대구경북과학기술원 대한민국 대구 달성군 현

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양기정 대한민국 대구 수성구
2 심준형 대한민국 대구 북구
3 전보람 대한민국 경상북도 포항시 남구
4 손대호 대한민국 경기도 의정부시
5 강진규 대한민국 대구 수성구
6 김대환 대한민국 대구 수성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 남앤남 대한민국 서울특별시 중구 서소문로 ** (서소문동, 정안빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인대구경북과학기술원 대구 달성군 현
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.08.22 수리 (Accepted) 1-1-2013-0763390-62
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2013.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0985443-34
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2013-5149764-85
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2018.05.24 수리 (Accepted) 1-1-2018-0509509-01
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.09.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.11.09 수리 (Accepted) 9-1-2018-0059776-49
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.18 수리 (Accepted) 4-1-2018-5260250-39
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0389127-62
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2019-0783691-86
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2019.09.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0689541-10
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.10.25 수리 (Accepted) 1-1-2019-1094440-95
12 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2019.10.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-1094441-30
13 등록결정서
Decision to Grant Registration
2019.10.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0782645-64
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.18 수리 (Accepted) 4-1-2020-5134633-04
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
CZTS계 박막 태양전지를 제조하는 방법으로서, 상기 방법은기판을 준비하는 단계 (S1); 상기 기판 상에 제 1 전극을 형성하는 단계 (S2); 상기 제 1 전극 상에 Cu 전구체, Sn 전구체 및 Zn 전구체를 증착하여, 각각 2 이상의 Cu 전구체층, Sn 전구체층 및 Zn 전구체층을 형성하는 단계 (S3); 및상기 증착된 금속 전구체층을 황화 또는 셀렌화 기체 분위기 하에서 열처리하여 광흡수층을 형성하는 단계 (S4)를 포함하며, 여기서, 상기 단계 (S3)는 상기 제 1 전극 상에 Zn 전구체층을 먼저 증착하고, 상기 Cu 전구체층의 양면이 Sn 전구체층과 인접하고, 상기 Sn 전구체층의 적어도 일면이 Zn 전구체층과 인접하록 금속 전구체층을 증착하는 것을 포함하는, 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 금속 전구체가 제 1 전극 상에서 하기의 순서로 증착되는 것을 특징으로 하는 방법: (제 1 전극)-Zn- Sn-Cu- Sn-Zn- Sn-Cu 전구체; (제 1 전극)-Zn- Sn-Cu- Sn-Zn- Sn-Cu - Sn-Zn- Sn-Cu 전구체; 또는 (제 1 전극)-Zn- Sn-Cu- Sn-Zn- Sn-Cu - Sn-Zn- Sn-Cu- Sn-Zn- Sn-Cu 전구체
3 3
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 광흡수층의 두께가 0
4 4
제1항 또는 제2항에 있어서, 광흡수층이 Cu2ZnSn(S, Se)4의 4원계 화합물인 방법
5 5
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제 1 전극이 몰리브덴(Mo) 박막인 것을 특징으로 하는, 방법
6 6
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 금속 전구체는 스퍼터링 공정에 의하여 증착되는 것을 특징으로 하는, 방법
7 7
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 광흡수층 상에 버퍼층을 형성하는 단계 (S5); 상기 버퍼층 상에 윈도우층을 형성하는 단계 (S6); 및 상기 윈도우층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계 (S7)를 추가로 포함하는, 방법
8 8
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 대구경북과학기술원 신재생에너지기술개발사업 초저가 금속원소를 이용한 고효율(14.5%) CZTS 화합물 박막 태양전지 기술개발
2 미래창조부 대구경북과학기술원 일반사업 차세대 융복합 기술개발