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전이금속을 질화하는 질화 단계; 및 상기 질화 단계 이후에 전이금속 질화물을 탄화 열처리하는 탄화 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 메조포러스 전이금속 탄화물의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 질화 단계에서, 상기 전이금속이 Mo, Cr, Ta, Zr, V, Ti, Hf, Nb 및 W의 산화물 및 그 수화물에서 선택되는 것을 특징으로 하는 메조포러스 전이금속 탄화물의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 전이금속이 막대형 또는 판상형인 것을 특징으로 하는 메조포러스 전이금속 탄화물의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 질화 단계에서, 상기 전이금속이 암모니아(NH3), 시안화물(CN) 및 질소(N2)와 같은 질소 화합물 중에서 선택된 단독 또는 이들의 혼합물과 반응하는 것을 특징으로 하는 메조포러스 전이금속 탄화물의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 질화 단계가 400 내지 800 ℃에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 메조포러스 전이금속 탄화물의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 탄화 단계에서 반응기체가 메탄, 부탄 및 프로판에서 선택된 단일 또는 이들의 혼합물인 것을 특징으로 하는 메조포러스 전이금속 탄화물의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 탄화 단계가 600 내지 1000 ℃에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 메조포러스 전이금속 탄화물의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 탄화 단계가 1 내지 50 시간 동안 이루어지는 것을 특징으로 하는 메조포러스 전이금속 탄화물의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 탄화 단계에서 반응온도 및 반응시간에 따라 메조포러스 전이금속 탄화물의 기공크기를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 메조포러스 전이금속 탄화물의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 탄화 단계에서 반응온도 및 반응시간에 따라 메조포러스 전이금속 탄화물의 결정상을 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 메조포러스 전이금속 탄화물의 제조 방법
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