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스핀코터용 진공척
- 기술번호 : KST2015191412
- 담당센터 : 광주기술혁신센터
- 전화번호 : 062-360-4654
| 요약 | 본 발명은 스핀코터용 진공척에 관한 것으로, 보다 상세하게는 진공을 분산시켜 흡착시킬 수 있을 뿐만 아니라 다양한 크기의 웨이퍼를 흡착시킨 후 증착시킬 수 있어 하나의 진공척으로 모든 크기의 웨이퍼를 증착시킬 수 있는 스핀코터용 진공척에 관한 것이다.본 발명은 웨이퍼를 흡착시켜 얇은 막을 증착시키도록 회전되는 스핀코터용 진공척에 있어서, 상기 진공척의 축에 고정된 회전판(10)상에 십자형으로 구비되되, 중앙부에 하나의 진공흡입구(22)가 구비되고 상기 진공흡입구(22)를 기준으로 상,하,좌,우에 일정 간격으로 관통된 한쌍의 보조 진공흡입구(24)가 구비된 판상의 진공흡입판(20)과; 상기 진공흡입판(20)의 보조 진공흡입구(24)를 개폐하도록 상기 회전판(10)의 내부에 구비되는 진공조절판(30)을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.회전판, 진공흡입판, 보조 진공흡입구, 진공조절판, 스핀코터 |
|---|---|
| Int. CL | H01L 21/683 (2006.01.01) C23C 16/458 (2006.01.01) |
| CPC | H01L 21/6838(2013.01) H01L 21/6838(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020060033370 (2006.04.12) |
| 출원인 | 조선대학교산학협력단 |
| 등록번호/일자 | 10-0744102-0000 (2007.07.24) |
| 공개번호/일자 | |
| 공고번호/일자 | (20070801) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2006.04.12) |
| 심사청구항수 | 2 |