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CMP후 폐슬러리를 이용한 슬러리 연마재의 제조방법 및이로 제조된 슬러리 연마재

  • 기술번호 : KST2015191414
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 CMP후 폐슬러리를 이용한 슬러리 연마재의 제조방법 및 이로 제조된 슬러리 연마재에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 사용된 CMP 후 폐슬러리를 열처리 및 재분쇄와 같은 재처리과정을 거쳐 CMP 슬러리의 연마재로 재활용함으로써 CMP 공정단가를 줄임과 동시에 CMP의 성능의 향상시킬 수 있는 CMP 후 폐슬러리를 이용한 슬러리 연마재의 제조방법 및 이로 제조된 슬러리 연마재에 관한 것이다.본 발명은 화학적 기계적 연마(CMP)공정용 슬러리 연마재의 제조방법에 있어서, 상기 CMP 공정에 사용된 폐슬러리에서 실리카 연마재를 추출하는 추출공정(S10)과, 추출된 실리카 연마재를 건조하여 열처리하는 열처리공정(S20)과, 열처리된 실리카 연마재를 분쇄하여 실리카 파우더를 제조하는 분쇄공정(S30)과, 제조된 실리카 파우더를 슬러리 원액과 혼합하는 혼합공정(S40)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.화학적기계적연마, 반도체, 슬러리, 연마재, 실리카, 폐슬러리
Int. CL C09G 1/02 (2006.01.01) C09K 3/14 (2006.01.01) H01L 21/306 (2006.01.01) C01B 33/023 (2006.01.01)
CPC C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01)
출원번호/일자 1020060033573 (2006.04.13)
출원인 조선대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0806975-0000 (2008.02.18)
공개번호/일자 10-2007-0102002 (2007.10.18) 문서열기
공고번호/일자 (20080225) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.04.13)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 조선대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이우선 대한민국 광주광역시 동구
2 서용진 대한민국 전남 목포시
3 김남훈 대한민국 경기 용인시 죽

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박태우 대한민국 광주광역시 광산구 무진대로 ***, *층 빛고을특허법률사무소 (우산동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 조선대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 동구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.04.13 수리 (Accepted) 1-1-2006-0256572-85
2 보정요구서
Request for Amendment
2006.04.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2006-0063292-17
3 안내문(직권수리)
Notification(Ex officio Acceptance)
2006.04.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2006-0063743-18
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.12.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.01.15 수리 (Accepted) 9-1-2007-0003346-05
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.05.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0279904-15
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2007-5087029-16
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.07.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0529814-00
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2007.07.22 수리 (Accepted) 1-1-2007-0529813-54
10 등록결정서
Decision to grant
2007.11.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0612445-27
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.12 수리 (Accepted) 4-1-2010-5149329-23
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.09.19 수리 (Accepted) 4-1-2011-5189513-90
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004365-05
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.21 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049090-32
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.08.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-5106192-07
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.12.06 수리 (Accepted) 4-1-2017-5199091-10
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2020-5071333-01
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2020-5088703-88
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번호 청구항
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삭제
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화학적 기계적 연마(CMP)공정용 슬러리 연마재의 제조방법에 있어서,상기 CMP 공정에 사용된 폐슬러리에서 실리카 연마재를 추출하는 추출공정(S10)과, 추출된 실리카 연마재를 건조하여 열처리하는 열처리공정(S20)과, 열처리된 실리카 연마재를 분쇄하여 실리카 파우더를 제조하는 분쇄공정(S30)과, 제조된 실리카 파우더를 슬러리 원액과 혼합하는 혼합공정(S40)을 포함하여 구성되고,상기 추출공정(S10)은, 상기 폐슬러리를 건조시켜 실리카 연마재를 얻거나, 상기 폐슬러리에서 거대 파티클을 제거하기 위해 기공이 1
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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