| 요약 |
본 발명은 혼합 연마재 슬러리 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 연마하고자 하는 강유전체막과 유사한 성분을 갖는 분말과 실리카 슬러리 원액을 혼합한 혼합 연마제 슬러리를 이용하여 산화막/금속, 강유전체막/금속막 등 이종막의 연마를 가능하게 하고, 연마정지점의 감지가 용이하면서, 요구하는 연마선택비를 쉽게 조절하도록 하여, 기존의 슬러리와 유사한 비균일도, 낮은 RMS 표면거칠기를 확보하여 FRAM 과 같은 반도체 집적회로에 응용할 수 있는 혼합 연마재 슬러리 제조방법에 관한 것이다.본 발명에 의한 혼합 연마재 슬러리 제조방법은, 화학적 기계적 연마(Chemical Mechanical Polishing: CMP) 공정에 사용되는 혼합 연마재 슬러리의 제조방법에 있어서, 분말상태인 BaCO3와 TiO2를 1:1로 하여 탈이온수(DIW)와 함께 혼합하는 혼합단계와, 상기 혼합물을 지르코니아(Zirconia) 볼(ball)로 볼밀링(milling)하고 건조하는 건조단계와, 상기 건조한 분말을 몰드(mold)에 넣고 6,000kgf/cm2으로 가압성형하는 가압성형단계와, 전기로에서 열처리(sintering)하여 BTO(BaTiO3) 타겟을 제조하는 BTO 타겟제조단계와, 상기 BTO 타겟을 분쇄기를 이용하여 BTO 연마재를 제조하고, 슬러리 원액에 상기 BTO 연마재를 혼합하는 혼합공정을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.혼합연마재, 볼밀링, 슬러리, 열처리, 몰드, 탈이온수
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