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광학 결함 검사장치

  • 기술번호 : KST2015191458
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다수개의 레이저 다이오드를 포함하는 레이저 조사유니트를 구비하는 광학 결함 검사장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 광학 결함 검사장치는 레이저를 이용하여 검사대상 물체의 결함 정도를 측정할 수 있도록 된 것으로, 상기 검사대상 물체에 레이저 광을 조사하기 위한 레이저 유니트와, 상기 검사대상 물체로부터 반사된 광을 수광하여 반사광에 포함된 상기 검사대상 물체의 영상정보를 획득하는 영상입력부를 포함하는 검사 유니트를 구비하며, 상기 레이저 유니트는 복수개의 레이저 다이오드들을 포함한다. 본 발명에 따른 광학 결함 검사장치는 복수개의 레이저 다이오드를 사용하며, 각 레이저 다이오드들의 온도가 동일하게 유지됨으로써 조사되는 레이저의 파잔을 균일하게 유지할 수 있기 때문에 검사대상 물체의 정확한 결함 여부를 파악할 수 있는 이점이 있다.
Int. CL G01J 1/02 (2006.01.01) G01N 21/88 (2006.01.01)
CPC G01J 1/0219(2013.01)G01J 1/0219(2013.01)G01J 1/0219(2013.01)G01J 1/0219(2013.01)
출원번호/일자 1020080048205 (2008.05.23)
출원인 조선대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0996293-0000 (2010.11.17)
공개번호/일자 10-2009-0122016 (2009.11.26) 문서열기
공고번호/일자 (20101123) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.05.23)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 조선대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김경석 대한민국 광주광역시 서구
2 장호섭 대한민국 광주광역시 동구
3 정현철 대한민국 광주광역시 동구
4 정성욱 대한민국 광주광역시 서구
5 최태호 대한민국 광주광역시 동구
6 김현민 대한민국 광주광역시 서구
7 박종현 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이재량 대한민국 광주광역시 광산구 하남산단*번로 ***, *층(도천동, 광주경제고용진흥원)(가온특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 김경석 광주광역시 서구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.05.23 수리 (Accepted) 1-1-2008-0368765-18
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.07.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.08.14 수리 (Accepted) 9-1-2009-0047272-14
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0081960-12
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.04.21 수리 (Accepted) 1-1-2010-0256199-85
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.04.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0256213-37
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.12 수리 (Accepted) 4-1-2010-5149329-23
8 등록결정서
Decision to grant
2010.08.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0370244-30
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.09.19 수리 (Accepted) 4-1-2011-5189513-90
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004365-05
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.21 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049090-32
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.08.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-5106192-07
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.12.06 수리 (Accepted) 4-1-2017-5199091-10
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2020-5071333-01
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2020-5088703-88
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번호 청구항
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레이저를 이용하여 검사대상 물체의 결함 정도를 측정할 수 있도록 된 광학 결함 검사장치에 있어서, 상기 검사대상 물체에 레이저 광을 조사하기 위한 복수개의 레이저 다이오드와, 상기 레이저 다이오드들의 온도가 균일하게 유지될 수 있도록 지지하는 지지부재를 포함하는 레이저 유니트와; 상기 검사대상 물체로부터 반사된 광을 수광하여 반사광에 포함된 상기 검사대상 물체의 영상정보를 획득하는 영상입력부를 포함하는 검사 유니트;를 구비하며, 상기 지지부재는 상기 레이저 다이오드 사이의 열적평형상태가 용이하게 유지될 수 있도록 상대적으로 열전도율이 높은 은, 구리, 금, 알루미늄 중 선택된 하나 이상의 재료로 형성되고, 상기 레이저 유니트는 상기 지지부재의 외주면을 감싸며, 상기 지지부재와 외부공기 사이의 열교환에 의해 상기 복수개의 레이저 다이오드들 사이의 열적 평형상태가 깨지는 것을 방지하는 코팅층을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 광학 결함 검사장치
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패밀리정보가 없습니다
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