| 1 |
1
레이저 다이오드(LD)를 광원으로 사용하고, 상기 레이저 다이오드(LD)로부터 조사된 레이저 광을 빔 스플리터(BS)에 의해 직교하는 두 방향으로 분기시켜 각각 거울(M1, M2)에 조사하고, 상기 거울(M1, M2)로부터 반사된 레이저 광을 상기 빔 스플리터(BS)에서 하나로 합쳐 간섭시킨 후 이 간섭신호를 광검출기(PD)에서 취득하는 마이켈슨 타입의 간섭계로서,상기 레이저 다이오드(LD)에 주입되는 전류를 변조시켜 레이저 광의 주파수를 변조시키고, 상기 광검출기(PD)에서 취득되는 간섭신호를 시간 적분하여 상기 간섭신호의 상관지도를 구하는 것을 특징으로 하는 주파수 변조 레이저 다이오드를 이용한 저간섭성 간섭계
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 광검출기(PD)의 반응시간은 상기 레이저 다이오드(LD)의 변조된 주파수보다 느린 것을 특징으로 하는 주파수 변조 레이저 다이오드를 이용한 저간섭성 간섭계
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 레이저 다이오드(LD)에 주입되는 전류는 함수 발생기(function generator)에 의해 변조되는 것을 특징으로 하는 주파수 변조 레이저 다이오드를 이용한 저간섭성 간섭계
|
| 4 |
4
제3항에 있어서,상기 함수 발생기는 상기 레이저 다이오드(LD)에 주입되는 전류를 정현파 함수로 변조하고, 상기 광검출기(PD)에서 취득되는 간섭신호는 하기의 식에 의해 시간적분되는 것을 특징으로 하는 주파수 변조 레이저 다이오드를 이용한 저간섭성 간섭계
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 레이저 다이오드(LD)에 주입되는 전류의 변조도를 조절하여 상기 간섭신호의 가간섭 거리를 조절하는 것을 특징으로 하는 주파수 변조 레이저 다이오드를 이용한 저간섭성 간섭계
|
