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전단간섭법을 이용한 변형측정장치

  • 기술번호 : KST2015191875
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전단간섭법을 이용한 변형측정 장치에 관한 것으로서, 측정대상체를 지지할 수 있도록 지지부와, 지지부에 지지된 측정대상체에 광을 조사하는 메인 광원부와, 측정대상체에 조사된 후 반사된 광을 제1경로와 제1경로와 직교되는 방향인 제2경로로 분할하여 출력하는 빔스플릿터와, 빔스플릿터에서 제1경로로 진행되는 광을 반사시켜 빔스플릿터로 재입사되게 설치된 기준미러와, 빔스플릿터에서 제2경로로 진행되는 광을 반사시켜 빔스플릿터로 재입사되게 설치된 가변미러와, 가변미러를 제2경로를 중심으로 좌우방향 및 상하방향에 대해 틸팅시킬 수 있도록 된 틸팅부와, 기준미러와 가변미러로부터 빔스플릿터에 재입사되어 제3경로로 출력되는 광을 촬상하는 촬상부와, 틸팅부를 제어하여 가변미러의 틸팅각도를 조정하면서 촬상부에 의해 촬상된 간섭무늬를 수신하여 표시부를 통해 표시되게 처리하는 처리유니트를 구비한다. 이러한 전단간섭법을 이용한 변형측정장치에 의하면, 가변미러가 두 축방향에 대해 기울임이 가능하여 결함측정 정밀도를 높일 수 있다.
Int. CL G01B 9/02 (2006.01) G01B 11/16 (2006.01)
CPC G01B 11/16(2013.01) G01B 11/16(2013.01)
출원번호/일자 1020140005281 (2014.01.15)
출원인 조선대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1551486-0000 (2015.09.02)
공개번호/일자 10-2015-0085424 (2015.07.23) 문서열기
공고번호/일자 (20150908) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.01.15)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 조선대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김경석 대한민국 광주 서구
2 정현철 대한민국 광주광역시 남구
3 선상우 대한민국 전남 광양시
4 최태호 대한민국 광주 동구
5 강찬근 대한민국 광주 광산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이재량 대한민국 광주광역시 광산구 하남산단*번로 ***, *층(도천동, 광주경제고용진흥원)(가온특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 조선대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 동구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.01.15 수리 (Accepted) 1-1-2014-0043419-44
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.21 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049090-32
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.11.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.12.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0097850-62
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.01.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0039772-88
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.03.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0271338-15
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2015-0271337-70
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.08.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-5106192-07
9 등록결정서
Decision to grant
2015.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0589323-02
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.12.06 수리 (Accepted) 4-1-2017-5199091-10
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2020-5071333-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2020-5088703-88
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번호 청구항
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측정대상체를 지지할 수 있도록 지지부와;상기 지지부에 지지된 측정대상체에 광을 조사하는 메인 광원부와;상기 측정대상체에 조사된 후 반사된 광을 제1경로와 상기 제1경로와 직교되는 방향인 제2경로로 분할하여 출력하는 빔스플릿터와;상기 빔스플릿터에서 상기 제1경로로 진행되는 광을 반사시켜 상기 빔스플릿터로 재입사되게 설치된 기준미러와;상기 빔스플릿터에서 상기 제2경로로 진행되는 광을 반사시켜 상기 빔스플릿터로 재입사되게 설치된 가변미러와;상기 가변미러를 상기 제2경로를 중심으로 좌우방향 및 상하방향에 대해 틸팅시킬 수 있도록 된 틸팅부와;상기 기준미러와 상기 가변미러로부터 상기 빔스플릿터에 재입사되어 제3경로로 출력되는 광을 촬상하는 촬상부와;상기 틸팅부를 제어하여 상기 가변미러의 틸팅각도를 조정하면서 상기 촬상부에 의해 촬상된 간섭무늬를 수신하여 표시부를 통해 표시되게 처리하는 처리유니트;를 구비하고,상기 틸팅부는상기 가변미러의 상기 빔스플릿터와 대향되는 면 맞은편의 배면 중앙에 형성된 구형홈에 일단이 삽입되어 상기 가변미러를 상기 구형홈을 중심으로 회동가능하게 지지하는 볼조인트와;상기 볼조인트의 타단을 고정하는 고정 프레임과;상기 고정프레임에 일단이 고정되게 설치되고 타단은 상기 가변미러에 결합되어 상기 처리유니트의 제어에 의해 길이가 신축되어 상기 가변미러를 상기 볼조인트를 중심으로 틸팅시키는 복수의 액추에이터;를 구비하며,상기 가변미러의 틸팅각도를 좌우방향과 상하방향에 대해 검출할 수 있도록 상기 고정프레임의 상기 가변미러와 대향되는 면에 상기 가변미러에 광을 조사하는 보조 광원과, 상기 상기 가변미러의 배면으로부터 반사된 광을 수신하여 상기 처리유니트에 제공하는 광검출기로 된 광센서가 상기 고정프레임에 이격되게 복수개 마련된 것을 특징으로 하는 전단간섭법을 이용한 변형측정 장치
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제3항에 있어서, 상기 지지부를 통해 상기 측정대상체에 변형을 유도하기 위한 변형력 또는 열을 인가하는 변형유도부;를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 전단간섭법을 이용한 변형측정 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.