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(a) ZrO2 및 입자 성장과 상안정을 위한 첨가제를 혼합한 후, 1,000℃ 내지 2,000℃의 온도에서 10 내지 15시간 동안 열처리하여 고 저항체를 제조하는 단계;(b) Y0
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제 1항에 있어서,상기 (a) 단계의 첨가제는 Y2O3, Al2O3, CeO2, MgO, SiO2, Ta2O5 및 ThO2로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 온도 센서용 조성물 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 (a) 단계의 고저항체는 직경이 53 내지 100㎛인 것을 특징으로 하는 온도센서용 조성물 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 (c) 단계에서 상기 (a) 단계의 고 저항체와 상기 (b)단계의 저 저항체는 95 : 5 내지 5 : 95의 중량비로 혼합하는 것을 특징으로 하는 온도센서용 조성물 제조방법
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제 1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 따라 제조된 온도센서용 조성물
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제 5항의 온도센서용 조성물을 성형틀에 투입 및 가압하여 성형체를 제조하는 단계;상기 성형체의 내부에 전극선(20)을 삽입하고 가압하는 단계; 및상기 전극선(20)이 삽입된 성형체를 열처리하는 단계를 포함하는 온도센서의 제조방법
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제 6항에 있어서,상기 성형체를 가압하는 단계는 전극선(20)의 삽입방향과 동일한 방향으로 압력을 가하는 것을 특징으로 하는 온도센서의 제조방법
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8
제 6항에 있어서,상기 전극선(20)이 삽입된 성형체를 열처리하는 단계는 1300-1500℃ 온도에서 0
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제 6항에 있어서,상기 전극선(20)은 순수한 백금(Pt) 또는 백금-로듐(Pt-Rh)의 합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 온도센서의 제조방법
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제 6항 내제 제 9항 중의 어느 한 항에 따라 제조된 온도센서
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