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화학적 기계 연마장치용 웨이퍼 홀더

  • 기술번호 : KST2015191922
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 화학적 기계 연마 장치의 하부 연마 원판과 대향되게 상부에 설치된 흡착헤드에 흡착되며 저면에 연마 대상 웨이퍼를 홀딩하는 화학적 기계 연마장치용 웨이퍼 홀더에 관한 것으로서, 흡착헤드에 흡착에 의해 홀딩되는 베이스기판과, 베이스 기판 저부에 접합되며 흡수된 물에 의해 웨이퍼를 접착시키는 폴리우레탄 소재로 된 접착패드를 구비한다. 이러한 화학적 기계 연마장치용 웨이퍼 홀더에 의하면, 흡착헤드에서 요구되는 흡착면적보다 적은 크기의 웨이퍼를 홀딩하여 연마공정을 수행할 수 있어 불필요한 웨이퍼의 낭비를 억제하고, 복수 개의 웨이퍼를 동시에 연마할 수 있으며 웨이퍼의 접착을 공급된 물에 의해 용이하게 수행할 수 있는 장점을 제공한다. CMP, 흡착헤드, 웨이퍼
Int. CL B24B 41/06 (2006.01.01) H01L 21/687 (2006.01.01) B24B 37/04 (2006.01.01)
CPC B24B 41/06(2013.01) B24B 41/06(2013.01) B24B 41/06(2013.01)
출원번호/일자 1020090055620 (2009.06.22)
출원인 조선대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2010-0137278 (2010.12.30) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.06.22)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 조선대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이우선 대한민국 광주광역시 남구
2 고필주 대한민국 광주광역시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이재량 대한민국 광주광역시 광산구 하남산단*번로 ***, *층(도천동, 광주경제고용진흥원)(가온특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.06.22 수리 (Accepted) 1-1-2009-0377396-19
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.12 수리 (Accepted) 4-1-2010-5149329-23
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.01.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0025065-06
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.03.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0184350-07
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.03.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0184370-10
6 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2011.07.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0367441-92
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.09.19 수리 (Accepted) 4-1-2011-5189513-90
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004365-05
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.21 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049090-32
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.08.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-5106192-07
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.12.06 수리 (Accepted) 4-1-2017-5199091-10
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2020-5071333-01
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2020-5088703-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
화학적 기계 연마 장치의 하부 연마 원판과 대향되게 상부에 설치된 흡착헤드에 흡착되며 저면에 연마 대상 웨이퍼를 홀딩하는 화학적 기계 연마장치용 웨이퍼 홀더에 있어서, 상기 흡착헤드에 흡착에 의해 홀딩되는 베이스기판과; 상기 베이스 기판 저부에 접합되며 흡수된 물에 의해 웨이퍼를 접착시키는 폴리우레탄 소재로 된 접착패드;를 구비하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마장치용 웨이퍼 홀더
2 2
제1항에 있어서, 상기 접착패드에 접착된 웨이퍼의 이탈을 억제시키기 위해 장착대상 웨이퍼의 형상에 대응되는 수용홈을 갖도록 상기 접착패드에 접합된 구속판;을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마장치용 웨이퍼 홀더
3 3
제2항에 있어서, 상기 베이스 기판은 강화유리로 형성된 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마장치용 웨이퍼 홀더
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.