맞춤기술찾기

이전대상기술

화학적 기계적 연마장치

  • 기술번호 : KST2015191941
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 연마작업시 슬러리의 배출을 원활하게 하고, 슬러리 잔류물들과 오염물질의 방출이 용이한 화학적 기계적 연마장치를 제공하기 위한 것이다. 본 발명은 웨이퍼를 연마하는 연마패드가 장착된 화학적 기계적 연마장치에 있어서, 상기 연마패드는, 상하방향으로 관통 형성되어 슬러리가 배출되는 관통홀과; 상기 연마패드의 상면에 형성되어 상기 슬러리가 유동하는 유동홈; 을 포함하여 이루어지되, 상기 유동홈은 상기 관통홀과 연통되는 것을 특징으로 한다.연마패드, 슬러리, 유동홈
Int. CL B24B 37/04 (2006.01.01) B24B 37/26 (2012.01.01)
CPC B24B 37/04(2013.01) B24B 37/04(2013.01)
출원번호/일자 1020070118123 (2007.11.19)
출원인 조선대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2009-0051641 (2009.05.22) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.11.19)
심사청구항수 1

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 조선대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 동구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이우선 대한민국 광주 남구
2 최권우 대한민국 광주 서구
3 박성우 대한민국 전남 목포시
4 서용진 대한민국 광주 남구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이정현 대한민국 경기도 안산시 단원구 광덕서로 **, ***호(고잔동, 한남법조빌딩)(엔아이피씨국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.11.19 수리 (Accepted) 1-1-2007-0830037-13
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.08.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.09.11 수리 (Accepted) 9-1-2008-0055209-45
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.01.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0032451-22
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.02.13 수리 (Accepted) 1-1-2009-0090699-39
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.02.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0090688-37
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2009.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0230988-16
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.12 수리 (Accepted) 4-1-2010-5149329-23
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.09.19 수리 (Accepted) 4-1-2011-5189513-90
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004365-05
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.21 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049090-32
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.08.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-5106192-07
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.12.06 수리 (Accepted) 4-1-2017-5199091-10
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2020-5071333-01
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2020-5088703-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
웨이퍼를 연마하는 연마패드가 장착된 화학적 기계적 연마장치에 있어서,상기 연마패드는,상하방향으로 관통 형성되어 슬러리가 배출되는 관통홀과;상기 연마패드의 상면에 형성되어 상기 슬러리가 유동하는 유동홈; 을 포함하여 이루어지되, 상기 유동홈은 상기 관통홀과 연통되는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마장치
2 2
제 1 항에 있어서,회전 테이블과;상기 회전테이블에 장착되어 함께 회동하는 연마패드와;상기 회전테이블에 장착되어 상방향으로 슬러리를 배출하는 노즐; 을 포함하여 이루어지되,상기 노즐은 상기 관통홀과 연통되어 슬러리를 배출하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마장치
3 3
제 1 항에 있어서,상기 관통홀은 다수개로 이루어지되, 상기 유동홈은 다수개의 상기 관통홀을 상호 연결하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마장치
4 4
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 관통홀은 상단이 하단보다 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마장치
5 5
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 유동홈은 상기 연마패드의 중심을 기준점으로 하여 폐곡선 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마장치
6 6
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 유동홈은 상기 연마패드의 중심을 기준점으로 하여 방사형 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마장치
7 7
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 유동홈은,상기 연마패드의 중심을 기준점으로 하는 방사형 형태로 형성된 방사홈과;상기 연마패드의 중심을 기준점으로 하는 폐곡선 형태로 형성된 폐곡선홈; 을 포함하여 이루어지되,상기 방사형홈과 상기 폐곡선홈이 상호 연결되게 형성하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.