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가공중 발생된 절삭공구의 운동오차를 측정하는 오차측정부와, 상기 오차측정부에 의해 측정된 오차를 보상하도록 상기 절삭공구를 구동시키는 오차보상 스테이지가 포함된 절삭공구 오차 보상 장치에 있어서,상기 오차보상 스테이지는, 베이스와, 수평면상에서 제1축 방향으로 변위가 가능하도록 탄성힌지로 상기 베이스에 연결된 제1축 보상체와, 수평면상에서 상기 제1축과 직교하는 제2축 방향으로 변위가 가능하도록 탄성힌지로 상기 제1축 보상체에 연결된 제2축 보상체와, 연직의 상기 제1축 및 제2축과 직교하는 연직의 제3축 방향으로 변위가 가능하도록 탄성힌지로 상기 제2축 보상체에 연결된 제3축 보상체와, 상기 제1축 보상체를 제1축 방향을 따라 일방 또는 양방으로 상기 베이스에 대하여 상대적으로 변위시키기 위한 제1축 보상구동기와, 상기 제2축 보상체를 제2축 방향을 따라 일방 또는 양방으로 상기 제1축 보상체에 대하여 상대적으로 변위시키기 위한 제2축 보상구동기와, 상기 제3축 보상체를 제3축 방향을 따라 일방 또는 양방으로 상기 제2축 보상체에 대하여 상대적으로 변위시키기 위한 제3축 보상구동기가 포함되어 구성되고,상기 절삭공구는 상기 제3축 보상체에 장착되며,상기 오차측정부는, 제3축 보상체와 일체로 변위되게 상기 제3축 보상체에 장착된 레이저 엔코더와, 상기 레이저 엔코더로부터 조사된 광선을 상기 레이저 엔코더로 반사하도록 배치된 평면 미러로 구성된 것을 특징으로 하는 절삭공구 오차 보상 장치
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제1항에 있어서,상기 제1축 보상체를 상기 베이스에 연결시키는 탄성힌지는, 상기 제1축 방향과 나란한 방향으로 연장된 막대형상의 탄성체 양단이 상기 베이스에 연결된 제1탄성변형부와, 상기 제1축과 직교하는 방향으로 연장된 막대형상의 탄성체 일단은 상기 제1탄성변형부의 양단 사이의 위치에 연결되고 타단은 상기 제1축 보상체에 연결된 제2탄성변형부로 구성되고,상기 제2축 보상체를 상기 제1축보상체에 연결시키는 탄성힌지는, 상기 제2축 방향과 나란한 방향으로 연장된 막대형상의 탄성체 양단이 상기 제1축 보상체에 연결된 제1탄성변형부와, 상기 제2축과 직교하는 방향으로 연장된 막대형상의 탄성체 일단은 상기 제1탄성변형부의 양단 사이의 위치에 연결되고 타단은 상기 제2축 보상체에 연결된 제2탄성변형부로 구성되며,상기 제3축 보상체를 상기 제2축보상체에 연결시키는 탄성힌지는, 상기 제3축 방향과 나란한 방향으로 연장된 막대형상의 탄성체 양단이 상기 제2축 보상체에 연결된 제1탄성변형부와, 상기 제3축과 직교하는 방향으로 연장된 막대형상의 탄성체 일단은 상기 제1탄성변형부의 양단 사이의 위치에 연결되고 타단은 상기 제3축 보상체에 연결된 제2탄성변형부로 구성된 것을 특징으로 하는 절삭공구 오차 보상 장치
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제2항에 있어서,상기 베이스는 사각형의 프레임 형상으로 구성되고,상기 제1축 보상체는 사각형 형상으로 형성되어 상기 베이스의 내부에 위치되게 4개의 모서리 부분이 탄성힌지로 상기 베이스와 연결된 것을 특징으로 하는 절삭공구 오차 보상 장치
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제3항에 있어서,상기 제1축 보상체는 상기 제1축과 나란한 축선에 대하여 좌우 대칭으로 형성되고, 상기 제1축 보상구동기는 상기 제1축 보상체의 좌우 대칭되는 위치에 각각 구비되며,상기 제1축 보상구동기 각각은 각각 독립적으로 구동되어 상기 제1축 보상체를 제1축 및 제2축이 포함된 평면상에서 회전변위시키는 것을 특징으로 하는 절삭공구 오차 보상 장치
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제2항에 있어서,상기 제1축 보상체는 사각형의 프레임 형상으로 구성되고,상기 제2축 보상체는 사각형 형상으로 형성되어 상기 제1축 보상체의 내부에 위치되게 4개의 모서리 부분이 탄성힌지로 상기 제1축 보상체와 연결된 것을 특징으로 하는 절삭공구 오차 보상 장치
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제2항에 있어서,상기 제3축 보상체는, 서로 마주보며 평행하게 연직으로 세워져 상기 제2축 보상체와 일체로 결합되는 사각형 형상의 지지부와, 상기 지지부 사이에 위치되어 상기 지지부와 상대적으로 제3축 방향으로 변위되는 박스형상의 구동부로 구성되고,상기 제3축 보상체를 상기 제2축 보상체에 연결시키는 탄성힌지는 상기 한 쌍의 지지부 각각의 양측 각각과 상기 박스형상의 구동부 양측 각각을 연결하여 상기 제3축 보상체를 상기 제2축 보상체와 연결시키는 것을 특징으로 하는 절삭공구 오차 보상 장치
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제6항에 있어서,상기 제3축 보상체는 제3축과 나란한 축선에 대하여 대칭되게 형성되고, 상기 제3축 보상구동기는 상기 제3축 보상체의 좌우 대칭되는 위치에 각각 구비되며,상기 제3축 보상구동기 각각은 각각 독립적으로 구동되어 상기 제3축 보상체를 제3축과 연직을 이루는 축선을 중심으로 회전변위시키는 것을 특징으로 하는 절삭공구 오차 보상 장치
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삭제
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제1항 내지 제7항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 제1축 보상구동기, 제2축 보상구동기 및 제3축 보상구동기는 압전구동기로 구성된 것을 특징으로 하는 절삭공구 오차 보상 장치
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