맞춤기술찾기
이전대상기술
씨엠피장비의 슬러리 공급 노즐
- 기술번호 : KST2015192009
- 담당센터 : 광주기술혁신센터
- 전화번호 : 062-360-4654
| 요약 | 본 발명은 씨엠피장비의 슬러리 공급 노즐에 관한 것으로, 보다 상세하게는 고온의 슬러리를 사용함으로서 연마 대상의 연마율을 향상시킴과 아울러 마이크로 스크래치 등의 손상이 없는 상태로 우수한 표면 거칠기를 확보할 수 있으며, 소모재의 추가 구입비용 없이 높은 공정 수율을 얻을 수 있는 씨엠피장비의 슬러리 공급 노즐에 관한 것이다.본 발명은 슬러리를 유동시키는 펌프와 연통되어 패드의 상부면에 슬러리를 공급하는 씨엠피장비의 슬러리 공급 노즐에 있어서, 상기 노즐(10)에는 공급되는 슬러리의 온도를 감지하기 위한 온도센서(12)가 장착되고, 상기 노즐(10)의 외주면에는 상기 슬러리를 가열시켜 연마테이블(30)에 부착된 패드(32) 상에 고온의 슬러리를 공급시키도록 코일형의 열선(14)이 구비되며, 상기 온도센서(12) 및 열선(14)을 제어하기 위한 컨트롤러(16)가 구비된 것을 특징으로 한다.노즐, 온도센서, 열선, 웨이퍼, 패드, 슬러리 |
|---|---|
| Int. CL | H01L 21/306 (2006.01.01) H01L 21/304 (2006.01.01) B24B 37/24 (2012.01.01) |
| CPC | H01L 21/30625(2013.01) H01L 21/30625(2013.01) H01L 21/30625(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020060033371 (2006.04.12) |
| 출원인 | 조선대학교산학협력단 |
| 등록번호/일자 | 10-0744099-0000 (2007.07.24) |
| 공개번호/일자 | |
| 공고번호/일자 | (20070801) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2006.04.12) |
| 심사청구항수 | 1 |