| 1 |
1
다파장광원과, 분산형 간섭계 분광기와, 말단에 반사코팅층이 형성된 N개의 채널프로브 광섬유로 이루어지는 N채널프로브와, 2x1광커플러와, 1xN 광커플러를 포함하여,상기 다파장광원에서 생성된 광원이 상기 2x1 광커플러와 상기 1xN 광커플러를 통해 상기 N채널프로브의 각각의 채널프로브 광섬유로 입사되고,상기 각각의 채널프로브 광섬유의 말단 반사코팅층에서 반사된 기준광과 측정대상에서 반사된 측정광을 포함하는 갭측정광신호가 상기 1xN 광커플러와 상기 2x1 광커플러를 통해 상기 분산형 간섭계 분광기로 입사되어,채널별 갭측정광신호의 간섭무늬로부터 갭을 연산하도록 구성되고,상기 각각의 채널프로브 광섬유의 말단에는 서로 다른 두께를 가지는 분산판이 구성되는 것을 특징으로 하는 저간섭성 광원과 분산형 간섭계를 이용한 다축 측정 광학 갭 센서 장치
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
청구항 1에 있어서,상기 각각의 채널프로브 광섬유의 말단은 측정 대상체의 표면과의 이격 거리가 서로 다른 간격을 가지도록 배열 구성되는 것을 특징으로 하는 저간섭성 광원과 분산형 간섭계를 이용한 다축 측정 광학 갭 센서 장치
|
| 4 |
4
다파장광원과, 분산형 간섭계 분광기와, 말단에 반사코팅층이 형성된 N개의 채널프로브 광섬유로 이루어지는 N채널프로브와, 2x1광커플러와, 1xN 광커플러를 포함하는 저간섭성 광원과 분산형 간섭계를 이용한 다축 측정 광학 갭 센싱 방법에 있어서,상기 다파장광원에서 생성된 광원을 상기 2x1 광커플러와 상기 1xN 광커플러를 통해 상기 N채널프로브의 각각의 채널프로브 광섬유로 입사시키는 제 1 다파장광원 N채널 분할 과정;과,상기 반사코팅층에서 반사된 기준광과 측정대상에서 반사된 측정광을 포함하는 갭측정광신호를 상기 1xN 광커플러와 상기 2x1 광커플러를 통해 상기 분산형 간섭계 분광기로 입사시키는 갭측정광신호 수신과정;과,상기 분산형 간섭계 분광기에서 분산에 의해 간섭무늬를 형성하는 것에 의해 채널별 갭측정광신호에 대한 간섭 무늬를 형성하여 갭을 연산하는 제 1 채널별 갭 연산과정;을 포함하고,상기 제 1 다파장광원 N채널 분할 과정의 수행 전에, 상기 각각의 채널프로브 광섬유의 말단이 측정 대상면으로부터 서로 다른 거리를 가지도록 배열 배치되는 것에 의해 채널프로브별 측정영역이 분할되는 측정영역분할과정;을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 저간섭성 광원과 분산형 간섭계를 이용한 다축 측정 광학 갭 센싱 방법
|
| 5 |
5
삭제
|
| 6 |
6
청구항 4에 있어서,상기 채널프로브 광섬유의 말단의 반사코팅층 다음의 위치에 분산판이 형성되어, 측정광이 상기 분산판을 경유하면서 채널프로브 광섬유 식별을 위해 위상이 변화되는 채널프로브별 위상변화과정;을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 저간섭성 광원과 분산형 간섭계를 이용한 다축 측정 광학 갭 센싱 방법
|
| 7 |
7
다파장광원과, 분산형 간섭계 분광기와, 말단에 반사코팅층이 형성된 N개의 채널프로브 광섬유와, 1xN 광커플러와, 2x1 광커플러를 포함하여,상기 다파장광원에서 생성된 광원이 상기 1xN 광커플러에 의해 상기 각각의 채널프로브 광섬유로 입사되고,상기 각각의 채널프로브 광섬유의 말단 반사코팅층에서 반사된 기준광과 측정대상에서 반사된 측정광을 포함하는 갭측정광신호들이 상기 각각의 채널프로브 광섬유의 2x1 광커플러에 접속된 다수의 분광기광섬유들에 의해 서로 독립적으로 상기 분산형 간섭계 분광기로 입사되며,상기 분산형 간섭계 분광기에는 상기 채널프로브 광섬유별 갭측정광신호의 간섭무늬가 분리되어 형성되어 채널별 갭을 연산하도록 구성되고, 상기 분광기광섬유들은,각각의 채널별 갭측정광신호의 전체 간섭무늬가 상기 분산형 간섭계 분광기에 구비되는 광영상장치에서 일정 간격을 가지고 순차적으로 형성되도록 배열되는 것을 특징으로 하는 저간섭성 광원과 분산형 간섭계를 이용한 다축 측정 광학 갭 센서 장치
|
| 8 |
8
삭제
|
| 9 |
9
청구항 7에 있어서, 상기 채널별 간섭무늬는,상기 광영상장치의 픽셀 라인에 대응하도록 분할 형성되는 것을 특징으로 하는 저간섭성 광원과 분산형 간섭계를 이용한 다축 측정 광학 갭 센서 장치
|
| 10 |
10
다파장광원과, 분산형 간섭계 분광기와, 말단에 반사코팅층이 형성된 N개의 채널프로브 광섬유와, 1xN 광커플러와, 2x1 광커플러를 포함하는 저간섭성 광원과 분산형 간섭계를 이용한 다축 측정 광학 갭 센싱 방법에 있어서,상기 다파장광원에서 생성된 광원을 상기 1xN 광커플러를 통해 상기 N채널프로브의 각각의 채널프로브 광섬유로 입사시키는 제 2 다파장광원 N채널 분할 과정;과,상기 반사코팅층에서 반사된 기준광과 측정대상에서 반사된 측정광을 포함하는 갭측정광신호를 상기 채널프로브 광섬유 각각의 2x1 광커플러에 접속된 각각의 분광기광섬유들을 통해 각각 독립적으로 상기 분산형 간섭계 분광기로 입사시키는 개별 갭측정광신호 독립 수신과정;과,상기 분산형 간섭계 분광기에서 분산에 의해 간섭무늬를 형성하는 것에 의해 서로 위치 구별되는 채널별 갭측정광신호에 대한 간섭 무늬를 형성하여 채널별 갭을 연산하는 제 2 채널별 갭 연산과정;을 포함하고,상기 제 2 채널별 갭 연산 과정의 상기 채널별 간섭무늬는,상기 분산형 간섭계 분광기에 구비되는 광영상장치에서 일정 간격을 가지고 순차적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 저간섭성 광원과 분산형 간섭계를 이용한 다축 측정 광학 갭 센싱 방법
|
| 11 |
11
삭제
|
| 12 |
12
청구항 10에 있어서, 상기 각각의 채널별 간섭무늬는,상기 광영상장치의 픽셀 라인에 대응하는 간격을 가지고 순차적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 저간섭성 광원과 분산형 간섭계를 이용한 다축 측정 광학 갭 센싱 방법
|
