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니오븀이 도핑된 티타니아 박막의 증착방법

  • 기술번호 : KST2015192062
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 니오븀이 도핑된 티타니아 박막의 증착방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 Nb-Ti 합금타켓을 이용하여 기판의 표면에 니오븀이 도핑된 티타니아 박막을 증착하는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 니오븀이 도핑된 티타니아 박막의 증착방법은 Nb-Ti 합금타켓을 진공챔버 내부에 장착하는 장착단계와, 진공챔버 내부에 질소와 산소를 유입시킨 후 서퍼터링하여 상기 진공챔버의 내부에 설치된 기판에 니오븀이 도핑된 티타니아 박막을 증착하는 증착단계를 포함한다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/14 (2006.01)
CPC C23C 14/083(2013.01) C23C 14/083(2013.01) C23C 14/083(2013.01) C23C 14/083(2013.01)
출원번호/일자 1020120117762 (2012.10.23)
출원인 조선대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0051574 (2014.05.02) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.10.23)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 조선대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이봉주 대한민국 광주광역시 북구
2 정진 대한민국 광주 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이재량 대한민국 광주광역시 광산구 하남산단*번로 ***, *층(도천동, 광주경제고용진흥원)(가온특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.10.23 수리 (Accepted) 1-1-2012-0862175-62
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.08.02 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.08.27 수리 (Accepted) 9-1-2013-0071895-73
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004365-05
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.02.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0082942-17
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.04.04 수리 (Accepted) 1-1-2014-0327440-87
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.04.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0327424-56
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.21 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049090-32
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.07.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0489021-61
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.08.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-5106192-07
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.12.06 수리 (Accepted) 4-1-2017-5199091-10
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2020-5071333-01
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2020-5088703-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
Nb-Ti 합금타켓을 진공챔버 내부에 장착하는 장착단계와;상기 진공챔버 내부에 질소와 산소를 유입시킨 후 서퍼터링하여 상기 진공챔버의 내부에 설치된 기판에 니오븀이 도핑된 티타니아 박막을 증착하는 증착단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 니오븀이 도핑된 티타니아 박막의 증착방법
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제 1항에 있어서, 상기 증착단계는 상기 질소와 상기 산소를 동일 부피비로 유입시킨 후 상기 기판을 450 내지 500℃로 유지한 상태에서 200W 파워로 1 내지 4시간 동안 서퍼터링하는 것을 특징으로 하는 니오븀이 도핑된 티타니아 박막의 증착방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.