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분말/캡슐 표면 플라즈마 처리장치

  • 기술번호 : KST2015192751
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플라즈마 표면 처리 장치에 관한 것으로서, 더 상세히는, 플라즈마 인가 중에 분말/캡슐을 공간 운동시켜, 분말/캡슐의 표면을 보다 균일하게 플라즈마에 노출하여 표면 처리할 수 있는 플라즈마 장치에 관한 것이다. 본 발명은, 분말/캡슐상 기재의 3차원 공간상 위치를 변화시키는 구동수단이 구비된 것을 특징으로 한다. 본 발명의 장치는 플라즈마 인가 중에 구동수단에 의해 분말/캡슐상의 기재가 고르게 분산되는 바, 그 표면처리를 보다 균질하고 효율적으로 하는 효과가 있다. 분말, 캡슐, 표면 처리, 플라즈마, 구동수단, 구동부재, 모터, 충돌대
Int. CL H01L 21/205 (2006.01)
CPC H01J 37/32715(2013.01) H01J 37/32715(2013.01) H01J 37/32715(2013.01)
출원번호/일자 1020090070771 (2009.07.31)
출원인 인제대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1094741-0000 (2011.12.09)
공개번호/일자 10-2011-0012875 (2011.02.09) 문서열기
공고번호/일자 (20111216) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.07.31)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인제대학교 산학협력단 대한민국 경남 김해시 인제로 *

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이제원 대한민국 경상남도 김해시
2 김양수 대한민국 부산광역시 동래구
3 이우경 대한민국 경상남도 김해시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김희곤 대한민국 대전시 유성구 문지로 ***-*(문지동) *동(웰쳐국제특허법률사무소)
2 김인한 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로 **, **층 (서초동, 신영빌딩)(특허법인세원)
3 박용순 대한민국 서울특별시 송파구 법원로*길 **, **층 D-****호(문정동)(주심국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인제대학교 산학협력단 대한민국 경상남도 김해시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.07.31 수리 (Accepted) 1-1-2009-0472198-26
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.04.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0185203-18
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.06.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0424856-50
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.06.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0424857-06
5 등록결정서
Decision to grant
2011.11.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0687895-12
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2012-5124408-82
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.10.18 수리 (Accepted) 4-1-2012-5216806-20
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2013-5175090-75
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.06.26 수리 (Accepted) 4-1-2017-5100061-64
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2017-5214791-60
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5082225-25
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149036-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
분말/캡슐상 기재의 3차원 공간상 위치를 변화시키는 구동수단이 구비된 플라즈마 표면 처리장치에 있어서, 상기 구동수단은, 기재를 담는 샘플용기; 상기 샘플용기에 연결되어 상기 샘플용기를 회전운동 시키는 구동부재; 및 회전하는 샘플용기와 충돌하여 샘플용기 내의 기재를 분산시키는 충돌대 를 포함하는 것임을 특징으로 하는 플라즈마 표면 처리장치
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 구동부재는 모터, 및 샘플용기와 상기 모터를 연결하는 구동부 연결선인 것임을 특징으로 하는 플라즈마 표면 처리장치
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 구동부재는 분당 1 ~ 5000회 회전하는 것임을 특징으로 하는 플라즈마 표면 처리장치
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 구동부재는 분당 1 ~ 100,000회 상기 충돌대와 충돌하는 것임을 특징으로 하는 플라즈마 표면 처리장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.