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진공챔버, 플라즈마 발생부, 가스공급부, 및 배기부를 포함하는 유도결합형 플라즈마 처리장치에 있어서,
상기 배기부는,
확산펌프;
보조펌프;
상기 진공챔버 및 상기 확산펌프와 연결되고, 스로틀밸브를 구비하며, 배기통로의 역할을 하는 주배기라인;
상기 진공챔버, 상기 확산펌프, 및 상기 보조펌프와 연결되고, 주밸브 및 보조밸브를 구비하며, 배기통로의 역할을 하는 보조배기라인
을 포함하는 것을 특징으로 하는 유도결합형 플라즈마 처리장치
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제 1 항에 있어서, 상기 스로틀밸브 및 상기 확산펌프 사이의 상기 주배기라인상에 압력게이지(460)가 구비된 것을 특징으로 하는 유도결합형 플라즈마 처리장치
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제 1 항에 있어서, 상기 보조배기라인은 진공챔버와 보조펌프 사이에 압력게이지(462)를 구비하고, 확산펌프와 보조펌프 사이에 압력게이지(461)를 구비하는 것임을 특징으로 하는 유도결합형 플라즈마 처리장치
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제 2 항에 있어서, 상기 스로틀밸브는, 공정대기 중에 상기 압력게이지(460)가 10 mTorr를 초과하는 경우, 폐쇄되는 것임을 특징으로 하는 유도결합형 플라즈마 처리장치
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제 1 항에 있어서, 상기 주배기라인은 100 내지 9 × 106 ℓ/s 범위 이내의 컨덕턴스를 가지는 것임을 특징으로 하는 유도결합형 플라즈마 처리장치
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제 1 항에 있어서, 상기 주배기라인은 1 × 10-4 내지 1 × 103 범위 이내의 l/d 비(ratio)를 가지는 것임을 특징으로 하는 유도결합형 플라즈마 처리장치
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제 1 항에 있어서, 상기 보조배기라인은, 단면적은 0
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제 1 항에 있어서, 상기 확산펌프는 몸체, 증발관, 노즐, 오일, 냉각수단, 히터, 흡기구 및 배기구를 구비하고, 상기 흡기구에 온도계측기를 구비하는 것임을 특징으로 하는 유도결합형 플라즈마 처리장치
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제 8 항에 있어서, 상기 스로틀밸브는, 상기 온도계측기가 50 ℃ 이상을 나타내는 경우, 폐쇄되는 것임을 특징으로 하는 유도결합형 플라즈마 처리장치
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제 8 항에 있어서, 상기 확산펌프는 히터의 온도가 600 ℃ 이하인 것임을 특징으로 하는 유도결합형 플라즈마 처리장치
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제 8 항에 있어서, 상기 오일은 실리콘 오일을 포함하는 것임을 특징으로 하는 유도결합형 플라즈마 처리장치
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제 1 항에 있어서, 상기 보조펌프는 기계적 펌프, 드라이 펌프, 부스터 펌프, 및 기름회전펌프에서 선택되어지는 하나 이상을 직렬 또는 병렬로 연결한 것임을 특징으로 하는 유도결합형 플라즈마 처리장치
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