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롤투롤 방식을 이용한 그래핀 필름의 분리, 전사 방법

  • 기술번호 : KST2015192995
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 롤투롤 방식을 이용한 그래핀 필름의 분리, 전사 방법에 관한 것으로서, 종래와 달리 화학적 에칭 과정없이 그래핀 필름을 분리 전사할 수 있는 롤투롤 방식을 이용한 그래핀 필름의 분리, 전사 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 롤투롤 방식을 이용한 그래핀 필름의 분리, 전사 방법은 화학적 에칭 과정없이, 접착 필름을 사용하지 않고도 롤투롤 방식에서 인가되는 압력 및 온도를 조절함으로써 그래핀 필름을 촉매 금속 필름으로부터 분리하여 기판용 필름으로 전사할 수 있다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0273(2013.01) H01L 21/0273(2013.01)
출원번호/일자 1020130022523 (2013.02.28)
출원인 인제대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0108829 (2014.09.15) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인제대학교 산학협력단 대한민국 경남 김해시 인제로 *

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최현광 대한민국 경상남도 김해시 가야로 **,
2 전민현 대한민국 부산 북구
3 박윤재 대한민국 경상남도 밀양시
4 임영진 대한민국 전남 여수시 성

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김태선 대한민국 서울(해산으로 인한 퇴사 후 사무소변경 미신고)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2013-0185288-11
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2013-5175090-75
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2016.11.29 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2016-1168987-01
4 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2016.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0171173-94
5 [반려요청]서류반려요청(반환신청)서
[Request for Return] Request for Return of Document
2016.12.06 수리 (Accepted) 1-1-2016-1193795-17
6 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2016.12.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0175210-89
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.06.26 수리 (Accepted) 4-1-2017-5100061-64
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2017-5214791-60
9 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2018.02.28 무효 (Invalidation) 1-1-2018-0208936-56
10 보정요구서
Request for Amendment
2018.03.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0038641-98
11 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation
2018.04.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0065290-98
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5082225-25
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149036-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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촉매금속필름의 일면에, 적어도 하나의 층의 그래핀을 형성하는 그래핀 합성단계;기판용 필름을 준비하고, 상기 기판용 필름의 상하부에 상기 그래핀이 형성된 촉매금속필름을, 상기 촉매금속필름의 일면에 형성된 그래핀이 상기 기판용 필름의 양면에 접촉되게 적층하는 단계; 적층된 상기기판용 필름 및 상기 그래핀이 형성된 촉매금속필름을 제1 히팅롤러와 제2 히팅롤러의 사이로 투입하는 단계; 및 상기 적층된 상기 기판용 필름 및 상기 그래핀이 형성된 촉매금속필름에 가하는 제1 히팅롤러와 상기 제2 히팅롤러의 압력, 상기 제1 히팅롤러와 상기 제2 히팅롤러의 온도, 제1 히팅롤러와 상기 제2 히팅롤러의 간격, 제1 히팅롤러와 상기 제2 히팅롤러의 회전속도(rpm)를 조절하여 상기 촉매금속필름의 일면에 형성된 그래핀이 상기 촉매금속필름으로부터 분리되어 상기 기판용 필름으로 전사되는 단계;를 포함하는 롤투롤 방식을 이용한 그래핀 필름의 분리, 전사 방법
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제 1 항에 있어서,상기 촉매금속필름은,철(Fe), 니켈(Ni), 코발트(Co), 백금(Pt), 이리듐(Ir), 금(Au), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 구리Cu), 마그네슘(Mg), 망간(Mn), 규소(Si), 티타늄(Ti) 또는 루비듐(Ru) 등 적어도 일부를 포함한 소재로 이루어지는 롤투롤 방식을 이용한 그래핀 필름의 분리, 전사 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 기판용 필름은 열가소성탄성중합체(thermoplastic elastomer), 스티렌계물질(styrenic materials),올레핀계물질(olefenic materials), 폴리올레핀(polyolefin), 폴리우레탄열가소성탄성중합체(polyurethane thermoplastic elastomers), 폴리아미드(polyamides), 합성고무(synthetic rubbers), 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane; PDMS), 폴리부타디엔(polybutadiene), 폴리이소부티렌(polyisobutylene), 폴리(스티렌-부타디엔-스티렌)(poly(styrene-butadiene-styrene)), 폴리우레탄(polyurethanes), 폴리클로로프렌(polychloroprene), 실리콘및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상인 것인 롤투롤 방식을 이용한 그래핀 필름의 분리, 전사 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 기판용 필름은 퍼플루오로술폰산 고분자 전해질 필름인 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식을 이용한 그래핀 필름의 분리, 전사 방법
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제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 하나의 방법에 의하여 제조되는 그래핀 롤
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제 5 항에 있어서, 상기 그래핀 층 상에 형성되는 보호층을 더 포함하는 것인 그래핀 롤
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 인제대학교 산학협력단 일반연구자지원사업-기본연구지원사업 고품위 그라핀 전극을 활용한 전기 활성 고분자 물질 기반의 적층 타입의 유연 투명 스마트 구동기 연구