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열처리부를 구비하는 딥코팅 장치

  • 기술번호 : KST2015193020
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본원 발명은 딥코팅 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 열처리부를 구비하는 신규한 딥코팅 장치에 관한 것이다. 본 발명에 의한 열처리부를 구비하는 딥코팅 장치는 코팅부와 열처리부를 동시에 포함함으로써, 동일 장비 내에서 별도의 장비 없이 열처리까지 수행함으로써 코팅액을 빠르게 건조시키고, 두께 및 표면 균일도가 높은 코팅막을 제조할 수 있다.
Int. CL B05C 9/14 (2006.01) B05C 3/02 (2006.01) B05C 9/12 (2006.01)
CPC B05C 3/02(2013.01) B05C 3/02(2013.01) B05C 3/02(2013.01)
출원번호/일자 1020130094719 (2013.08.09)
출원인 인제대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1539930-0000 (2015.07.22)
공개번호/일자 10-2015-0018151 (2015.02.23) 문서열기
공고번호/일자 (20150729) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.08.09)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인제대학교 산학협력단 대한민국 경남 김해시 인제로 *

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 류혁현 대한민국 부산 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 하나 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 *, *층(역삼동, 삼흥역삼빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인제대학교 산학협력단 대한민국 경남 김해시 인제로 *
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.08.09 수리 (Accepted) 1-1-2013-0723758-33
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2013-5175090-75
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2014.01.08 수리 (Accepted) 1-1-2014-0019360-31
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.06.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.07.10 수리 (Accepted) 9-1-2014-0059330-52
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0598911-15
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.10.29 수리 (Accepted) 1-1-2014-1037595-09
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.11.25 수리 (Accepted) 1-1-2014-1138304-21
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.11.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1138310-06
10 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2015.03.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0162494-42
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.04.29 수리 (Accepted) 1-1-2015-0417948-36
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.04.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0417947-91
13 등록결정서
Decision to grant
2015.07.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0472049-86
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.06.26 수리 (Accepted) 4-1-2017-5100061-64
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2017-5214791-60
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5082225-25
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149036-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
수직 방향으로 형성되는 수직지지대; 상기 수직지지대의 하단부에 설치되고, 기판을 코팅하기 위한 코팅 용액이 충전되는 코팅부;상기 코팅부 상부에 형성되는 열처리부; 상기 수직 지지대와 연결되는 수평지지대; 상기 수평 지지대와 연결되고 기판을 상기 코팅부로부터 상기 열처리부로 이동시키는 승강 부재; 및상기 승강 부재 말단에 연결되고 상기 기판의 일 측면에 고정되는 기판 홀더;를 포함하고,상기 코팅부는 상기 코팅부의 상단을 폐쇄하는 상부 마감부;를 더 포함하며,상기 상부 마감부는 상기 기판이 상기 코팅부에서 코팅되고, 상기 열처리부로 이동되어 상기 기판이 열처리될 때 상기 열처리부에서 기판 열처리시 발생하는 열이 코팅액에 전달되는 것을 방지하고,상기 열처리부는챔버;상기 챔버의 처리 공간으로 열에너지를 제공하는 히터; 및 상기 챔버의 하단을 폐쇄하는 하부 개폐부;를 포함하며,상기 하부 개폐부는 상기 기판이 상기 코팅부에서 코팅시 개방 상태로 있고,상기 하부 개폐부는 상기 기판이 상기 열처리부로 이송된 후 열처리시 상기 챔버를 폐쇄하여 열처리 온도 및 분위기를 조절하는 것을 특징으로 하는 열처리부를 구비하는 딥코팅 장치
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 열처리부에서는 고로(furnace)를 사용하는 가열법, 레이저에 의한 가열법, RTA(Rapid thermal Annealing)법, Line RTA법 또는 마이크로파를 이용하여 상기 기판을 가열하는 것을 특징으로 하는 열처리부를 구비하는 딥코팅 장치
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 열처리부는 기체 도입부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열처리부를 구비하는 딥코팅 장치
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 열처리부는 배수부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열처리부를 구비하는 딥코팅 장치
6 6
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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