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스핀 코팅 장치

  • 기술번호 : KST2015193041
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 스핀 코팅 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 회전척과 회전축 사이에 볼 롤러부를 포함하여 기판의 수평 방향으로의 회전뿐만 아니라, 경사 운동이 가능한 새로운 구조의 스핀 코팅 장치에 관한 것이다.
Int. CL H01L 21/683 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01)
CPC H01L 21/6835(2013.01) H01L 21/6835(2013.01) H01L 21/6835(2013.01) H01L 21/6835(2013.01)
출원번호/일자 1020130129731 (2013.10.30)
출원인 인제대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0049328 (2015.05.08) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.10.29)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인제대학교 산학협력단 대한민국 경남 김해시 인제로 *

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 류혁현 대한민국 부산 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이피매그나 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로 **길 *,양재DS타워 *층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0983991-96
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2013-5175090-75
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2014.01.08 수리 (Accepted) 1-1-2014-0019460-09
4 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2016.11.29 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2016-1168987-01
5 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2016.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0171173-94
6 [반려요청]서류반려요청(반환신청)서
[Request for Return] Request for Return of Document
2016.12.06 수리 (Accepted) 1-1-2016-1193795-17
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2016.12.06 수리 (Accepted) 1-1-2016-1197395-51
8 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2016.12.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0175210-89
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.06.26 수리 (Accepted) 4-1-2017-5100061-64
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2017-5214791-60
11 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2018.10.29 수리 (Accepted) 1-1-2018-1063638-77
12 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.09.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
13 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.11.08 수리 (Accepted) 9-1-2019-0051479-42
14 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.01.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0010809-28
15 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.03.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0241840-49
16 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2020.03.06 수리 (Accepted) 1-1-2020-0241839-03
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5082225-25
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149036-07
19 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2020.07.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0463494-31
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
코팅하고자 하는 기판이 장착되는 스핀척;상기 척과 결합되어 기판을 소망하는 속도로 회전가능하게 하는 구동부; 상기 구동부와 상기 스핀척에 연결되어 상기 구동부에 의해 발생된 회전에너지를 상기 스핀척에 전달하는 회전축; 상기 기판 상부에 소정의 이격 거리를 두고 형성되는 액체 공급 장치; 및 상기 회전축과 상기 스핀척 사이에 위치하는 볼 롤러부; 를 포함하는 스핀 코팅 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 볼 롤러부는 구형 기본 형상으로부터 상기 척과 접하는 부위가 납작하게 평활화되는 평활부를 구비하는 볼 롤러를 포함하는 것인 스핀 코팅 장치
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 볼 롤러 베어링부는 상기 볼 롤러를 둘러싸는 볼 롤러 케이지를 포함하고, 상기 볼 롤러는 상기 볼 롤러 케이지 내에서 회전하는 것인 스핀 코팅 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 인제대학교 산학협력단 지식경제기술혁신사업 유기박막태양전지의 초정밀 전사형 분자 소재 기술
2 교육과학기술부 인제대학교 산학협력단 일반연구자지원사업 저온 일정 용액 주입 공정법을 이용한 그래핀 투명 전극 기반 유연 하이브리드 다차원 나노결정 태양전지 특성