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기판; 박막 형성용 용액을 수용하는 용기; 상기 기판을 고정시키는 고정 수단을 포함하고, 상기 기판을 상기 박막 형성용 용액 내에 침지시켰다가 들어올리기 위한 승강부; 상기 박막 형성용 용액 내에 담지된 상대전극, 및 기준전극; 및상기 기판, 상대전극 및 기준 전극을 연결하는 전원;을 포함하는 딥코팅법과 전기 화학 증착법이 동시에 가능한 박막 형성 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 기판이 실리콘 기판, 플라스틱 기판, 유리 기판, 금속 기판, 석영, 금속 산화물 기판 또는 금속 질화물 기판인 딥코팅법과 전기 화학 증착법이 동시에 가능한 박막 형성 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 상대 전극이 백금, 팔라듐, 탄소, 하나 이상의 불활성 결합제가 배합된 탄소, 이리듐, 산화인듐, 산화주석, 산화주석이 배합된 인듐 및 이들의 혼합물로 이루어진 그룹으로부터 선택된 물질인 딥코팅법과 전기 화학 증착법이동시에 가능한 박막 형성 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 기준전극은 Ag-AgCl, Hg-HgO 및 SCE(포화칼로멜 전극)로 이루어진 그룹으로부터 선택된 어느 하나인 딥코팅법과 전기 화학 증착법이 동시에 가능한 박막 형성 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 기판, 상기 기준 전극 및 상기 상대 전극은 3원 전극 시스템을 구성하는 것을 특징으로 하는 딥코팅법과 전기 화학 증착법이 동시에 가능한 박막 형성 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 박막 형성용 용액을 가열하기 위한 가열 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 딥코팅법과 전기 화학 증착법이 동시에 가능한 박막 형성 장치
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제 1 항에 있어서,상기 박막 형성용 용액의 온도를 조절하기 위한 온도 조절 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 딥코팅법과 전기 화학 증착법이 동시에 가능한 박막 형성 장치
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제 7 항에 있어서,상기 온도 조절 수단은 상기 박막 형성용 용액의 온도를 감지하기 위한 온도 감지 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 딥코팅법과 전기 화학 증착법이 동시에 가능한 박막 형성 장치
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기판을 박막 형성용 용액에 침지하는 제 1 단계; 박막 형성용 용액에 침지된 상기 기판, 상대전극 및 기준 전극에 전압을 인가하는 제 2 단계;상기 기판을 들어올리는 제 3 단계; 및들어올려진 기판을 건조하는 제 4 단계;를 포함하는 제 1 항에 의한 딥코팅법과 전기 화학 증착법이 동시에 가능한 박막 형성 장치를 이용한 박막 형성 방법
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제 9 항에 있어서,기판을 소성하는 제 5 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 형성 방법
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제 9 항에 있어서,상기 기판을 박막 형성용 용액에 침지하는 단계;상기 기판을 들어올리는 단계; 및들어올려진 기판을 건조하는 단계;를 수행한 후, 상기 제 1 단계 내지 제 4 단계를 수행하는 것을 특징으로 하는 박막 형성 방법
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