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고효율 다기능 광학 필터를 제조하는 방법에 있어서,
흡수계수가 10-3 차수 이상의 물질의 흡수계수를 제어하여 10-5 차수 미만의 흡수계수를 갖는 박막을 형성하는 단계; 및
상기 박막을 적어도 하나 기판에 적층하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 방법
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제 1 항에 있어서,
상기 박막은 10-5 차수의 이상의 흡수계수를 갖는 물질 10 내지 90 중량% 및 10-5 차수 미만의 흡수계수를 갖는 물질 10 내지 90 중량%로 구성되는 것을 특징으로 제조방법
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고효율 다기능 광학 필터를 제조하는 방법에 있어서,
큰 흡수계수(alpha1003e#10-5) 및 고굴절율(n1003e#1
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제 3 항에 있어서,
상기 제1 박막은 TiO2이며, 상기 제2 박막은 SiO2인 것을 특징으로 하는 제조 방법
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제 3 항에 있어서,
상기 제1 및 제2 박막의 두께는 10 내지 200nm인 것을 특징으로 하는 제조 방법
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제 3 항에 있어서,
상기 제1 및 제2 박막은 전자빔 스퍼터링 방법, RF 스퍼터링 방법, 원자층 증착(Automic Layer Deposition) 방법, 및 펄스 원자층 증착 방법 중 어느 하나에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 제조 방법
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제 3 항에 있어서,
상기 제1 및 제2 박막은 두개의 다른 소오스 타겟을 갖는 동일한 챔버 내부에서 연속적으로 형성되거나, 두개의 챔버를 갖는 하나의 시스템에서 연속적으로 그리고 교대로 형성되는 것을 특징으로 하는 제조 방법
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