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한 쌍의 압전 액츄에이터를 지지하기 위한 한 쌍의 탄성 가동부를 갖는 바디 플레이트와; 상기 바디 플레이트에 고정되는 베이스 플레이트와; 상기 바디 플레이트의 상기 한 쌍의 탄성 가동부 사이에 설치되는 왕복회전 운동자와; 상기 왕복회전 운동자 상부에 미끄럼 이동 가능하게 배치되는 회전자;를 구비하되,
상기 한 쌍의 탄성 가동부 각각은 압전 액츄에이터에 예압을 인가함과 동시에 압전 액츄에이터의 변위를 증폭하기 위한 한 쌍의 제1 변위 증폭부와, 다수의 탄성 힌지로 구성되어 압전 액츄에이터의 변위를 더욱 증폭하기 위한 제2 변위 증폭부를 구비하고,
상기 바디 플레이트는 그 중심부에 왕복회전 운동자를 지지하는 플랫폼부를 구비하고, 상기 플랫폼부는 한 쌍의 개구 사이에 배치되며, 상기 플랫폼부의 일단부는 상기 제2 변위 증폭부의 일측에 연결되고, 타단부가 타측 탄성 가동부의 일측에 연결되며,
상기 베이스 플레이트는 그 중심부에 상기 플랫폼부에 대응하여 낮게 단을 준 중앙 브릿지를 구비하고, 상기 한 쌍의 탄성 가동부에 대응하는 한 쌍의 개구가 상기 중앙 브릿지를 기준으로 상호 대향하도록 배치되며, 상기 바디 플레이트에 나사체결되는 것을 특징으로 하는 초정밀 회전 위치결정 장치
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제 1 항에 있어서,
상기 한 쌍의 제1 변위 증폭부 각각은 개구와, 상기 개구에 형성된 브릿지와, 상기 브릿지의 일측면을 바디 플레이트의 중심부에 연결하는 탄성 힌지와, 각각의 브릿지의 타측면을 제2 변위 증폭부에 연결하는 탄성 힌지를 구비하는 것을 특징으로 하는 초정밀 회전 위치결정 장치
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제 1 항에 있어서,
상기 제2 변위 증폭부는 탄성 힌지에 의하여 일단부가 제1 변위 증폭부 중 어느 하나의 브릿지와 결합되고 탄성 힌지에 의하여 바디 플레이트와 결합되는 제1 아암과, 탄성 힌지에 의하여 일단부가 상기 제1 아암의 타단부와 결합되는 제2 아암과, 탄성 힌지에 의하여 일단부가 제2 아암의 타단부와 결합되고 타단부가 탄성 힌지에 의하여 제1 변위 증폭부 중 다른 하나의 브릿지와 결합되는 제3 아암을 구비하는 것을 특징으로 하는 초정밀 회전 위치결정 장치
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제 4 항에 있어서,
상기 플랫폼부의 일단부는 제2 변위 증폭부의 제2 아암과 탄성 힌지에 의하여 연결되고, 타단부가 타측 탄성 가동부의 아암에 탄성 힌지에 의하여 연결되는 것을 특징으로 하는 초정밀 회전 위치결정 장치
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제 1 항에 있어서,
상기 왕복회전 운동자는 절두원추형으로 형성되며, 회전자가 왕복회전 운동자의 상부에 배치되며, 회전자의 내측 경사면이 왕복회전 운동자의 경사진 외주면과 미끄럼식으로 접촉하는 것을 특징으로 하는 초정밀 회전 위치결정 장치
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