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기판 위에 한 종류의 물질로 증착하되, 경사 입사 증착에 의해 경사 입사각(α)을 달리함으로써 굴절률을 변화시켜 3층 이상으로 증착된 다층 박막을 제조하는 것을 특징으로 하는 한 종류 물질의 경사 입사 증착을 이용한 다층 박막 제조 방법
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기판 위에 한 종류 물질로 경사 입사 증착에 의해 경사 입사각(α)을 달리함으로써 굴절률을 변화시켜 3층 이상의 다층 박막을 제조하되, 상기 굴절률의 변화에 의해 증착된 다층 박막에 따라 자외선영역, 가시광선영역 및 적외선영역의 파장 대역에서 평균 95% 이상의 반사율을 갖도록 고반사 코팅(High Reflection Coatings)하는 것을 특징으로 하는 고반사 코팅 방법
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 한 종류 물질은 TiO2, ZrO2, Ta2O5, HfO2, Nb2O5, Nd2O3과 같은 고굴절률 특성을 갖는 금속산화물이며, 고굴절률 특성을 갖는 금속산화물을 증착시 경사 입사각(α)을 달리함으로써 굴절률을 낮게 변화시켜 각 층마다 굴절률이 높은 층과 굴절률이 낮은 층으로 교대로 증착하는 것을 특징으로 하는 한 종류 물질의 경사 입사 증착을 이용한 다층 박막 제조 방법 및 이를 이용한 고반사 코팅 방법
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,기판 위에 한 종류 물질을 교대로 증착시 경사 입사 증착에 의해 다공성 기둥 미세 구조를 갖는 박막의 조밀도를 높이고, 굴절률 변화 및 균일한 두께를 갖도록 하기 위해 상기 기판이 고정된 상태에서 한 번 증착 후 180°회전시켜 증착하거나 경사 입사각(α)을 +α, -α로 지그재그 구조에 의해 증착하는 것을 특징으로 하는 한 종류 물질의 경사 입사 증착을 이용한 다층 박막 제조 방법 및 이를 이용한 고반사 코팅 방법
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 한 종류 물질에 의해 증착된 박막의 광학적 위상 두께가 1/4 파장 두께를 갖도록 제어하는 것을 특징으로 하는 한 종류 물질의 경사 입사 증착을 이용한 다층 박막 제조 방법 및 이를 이용한 고반사 코팅 방법
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제 2 항에 있어서,상기 한 종류 물질을 증착하기 전 상기 기판 위에 은(Ag)과 같은 금속을 코팅한 후, 한 종류 물질의 경사 입사 증착에 의해 굴절률을 낮게 변화시켜 변화 전 굴절률과 낮게 변화된 굴절률로 교대로 적어도 3층 이상으로 증착함으로써, 자외선 영역, 가시광선 영역 및 적외선영역의 파장 대역에서 평균 95% 이상의 반사율을 갖는 것을 특징으로 하는 고반사 코팅 방법
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제 2 항에 있어서,기판으로 유리를 사용하며, 유리 기판 위에 상기 한 종류 물질의 경사 입사 증착에 의해 굴절률을 낮게 변화시켜 변화 전 굴절률과 낮게 변화된 굴절률로 교대로 3층 이상을 증착하되, 기준파장에 따라 특정 파장 대역에서 평균 95% 이상의 반사율을 갖고, 평균 95% 이상의 반사율을 갖는 파장 대역에서 특정한 반사칼라가 형성되도록 하는 것을 특징으로 하는 고반사 코팅 방법
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제 7 항에 있어서,상기 한 종류 물질의 경사 입사 증착에 의해 굴절률을 낮게 변화시켜 변화 전 굴절률과 낮게 변화된 굴절률로 교대로 3층 이상을 증착하되, 빔의 입사각도에 따라 특정 파장 대역에서 평균 95% 이상의 반사율을 갖고, 평균 95% 이상의 반사율을 갖는 파장 대역에서 특정한 반사칼라가 형성되는 것을 특징으로 하는 고반사 코팅 방법
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