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플렉시블 수소 센서 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015193662
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플렉시블 수소 센서 및 그 제조방법에 관한 것으로, 반도체 기판을 지지 기판으로 하여 상기 반도체 기판상에 폴리이미드(polyimide) 테이프를 접착하는 접착 단계; 상기 폴리이미드 상에 시드 층(seed layer)인 산화 아연 박막 필름(ZnO thin film)을 증착하는 증착 단계; 상기 시드 층에 산화아연 나노 로드(ZnO NRs)를 성장시키는 성장 단계; 상기 성장된 산화아연 나노 로드(ZnO NRs)를 제거하면서 상기 시드 층을 상기 산화아연 나노 로드 구조가 합성된 산화 아연층으로 형성하는 형성 단계; 상기 산화 아연층에 팔라듐 나노 입자(Pd NPs)를 소정 시간 동안 로드하는 로드 단계; 및 전사(transfer) 공정에 따라 상기 팔라듐 나노 입자가 포함된 상기 산화 아연층 및 상기 산화 아연층의 하면에 형성된 폴리이미드가 상기 실리콘 기판에서 분리되어 폴리에스테르(PET) 기판으로 전이되는 전이(transfer) 단계를 포함하는 제조방법으로 제조되는 플렉시블 수소 센서가 제공된다. 이와 같은 본 발명의 플렉시블 수소 센서는 기존의 수소 센서보다 유연성 및 견고성, 가스 검지 능력이 향상되어 다양한 기술 분야로의 활용이 가능한 이점이 있다.
Int. CL G01N 27/407 (2006.01)
CPC G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01)
출원번호/일자 1020130073227 (2013.06.25)
출원인 울산대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0000737 (2015.01.05) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.06.25)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산대학교 산학협력단 대한민국 울산광역시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정귀상 대한민국 울산광역시 울주군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종선 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로*길 **, 광성빌딩 **층 (역삼동)(케이엘피특허법률사무소)
2 이형석 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로*길 **, 광성빌딩 **층 (역삼동)(케이엘피특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2013-0569024-71
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.11.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-0057072-80
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.12.30 수리 (Accepted) 4-1-2013-5176374-15
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.07.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.08.08 수리 (Accepted) 9-1-2014-0066307-76
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.08.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0587247-48
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.10.27 수리 (Accepted) 1-1-2014-1027953-62
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.12.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0860494-91
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2016-5080807-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.10 수리 (Accepted) 4-1-2020-5154267-54
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
폴리에스테르(PET) 기판; 상기 폴리에스테르 기판에 형성된 폴리이미드층; 상기 폴리이미드층에 스퍼터링 방법에 의해 팔라듐 나노 입자(Pd NPs)가 로드되어 형성되는 산화 아연층을 포함하고, 상기 폴리이미드층 및 산화 아연층은 반도체 기판에서 전사되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 수소 센서
2 2
제 1 항에 있어서,상기 산화 아연층은, 상기 폴리이미드층에 산화아연 시드층이 증착된 후에 산화아연 나노 로드가 성장된 후 제거되는 공정을 통해 상기 산화아연 나노 로드 구조가 합성된 상태임을 특징으로 하는 플렉시블 수소 센서
3 3
반도체 기판을 지지 기판으로 하여 상기 반도체 기판상에 폴리이미드(polyimide) 테이프를 접착하는 접착 단계; 상기 폴리이미드 상에 시드 층(seed layer)인 산화 아연 박막 필름(ZnO thin film)을 증착하는 증착 단계; 상기 시드 층에 산화아연 나노 로드(ZnO NRs)를 성장시키는 성장 단계; 상기 성장된 산화아연 나노 로드(ZnO NRs)를 제거하면서 상기 시드 층을 상기 산화아연 나노 로드 구조가 합성된 산화 아연층으로 형성하는 형성 단계; 상기 산화 아연층에 팔라듐 나노 입자(Pd NPs)를 소정 시간 동안 로드하는 로드 단계; 및 전사(transfer) 공정에 따라 상기 팔라듐 나노 입자가 포함된 상기 산화 아연층 및 상기 산화 아연층의 하면에 형성된 폴리이미드가 상기 실리콘 기판에서 분리되어 폴리에스테르(PET) 기판으로 전이되는 전이(transfer) 단계를 포함하는 플렉시블 수소센서의 제조방법
4 4
제 3 항에 있어서,상기 산화아연 나노 로드는 수열 합성법을 이용하여 성장하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 수소센서의 제조방법
5 5
제 3 항에 있어서,상기 형성 단계 이후에 산화 아연층/PI 테이프/실리콘 기판에 포함된 잔류수(residual water)를 제거하는 열처리 단계가 더 수행되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 수소센서의 제조방법
6 6
제 3 항에 있어서,상기 산화아연 나노 로드는,일정 온도가 유지되는 고압 멸균장치 내에 일정 시간 동안 보관되면 제거되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 수소센서의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 울산대학교산학협력단 산학연협력기술개발 연료전지용 수소센서 개발