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초임계이산화탄소 건조에서 패턴붕괴 방지에 유용한 방법

  • 기술번호 : KST2015193791
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초 임계이산화탄소(scCO2, SCF)를 이용한 패턴 건조 시스템에 있어서, 알칼리 수용성 감광제(photoresists)로부터 패턴붕괴 없이 물을 제거하는 것이 가능한 계면활성제에 관한 것이다. 이것은 기존의 수계 또는 유기용매로서 처리하기 어려운 극미세 패턴 구조를 초 임계 또는 액체 이산화탄소로서 세정과 건조하는 기술로서, 계면활성제 및 흡착체의 화학 기술을 특징으로 한다. 초 임계이산화탄소, 패턴붕괴, 패턴건조, 계면활성제, 감광제
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01) C11D 1/00 (2006.01.01)
CPC H01L 21/02101(2013.01) H01L 21/02101(2013.01)
출원번호/일자 1020060074962 (2006.08.09)
출원인 부경대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0774093-0000 (2007.10.31)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20071106) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.08.09)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부경대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임권택 대한민국 부산 부산진구
2 이동훈 대한민국 부산 해운대구
3 이민영 대한민국 부산 남구

대리인

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최종권리자

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1 부경대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.08.09 수리 (Accepted) 1-1-2006-0568126-19
2 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items		 2006.08.09 수리 (Accepted) 1-1-2006-0569655-28
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.04.23 수리 (Accepted) 4-1-2007-5062572-56
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.05.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.06.13 수리 (Accepted) 9-1-2007-0036123-93
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.06.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0336049-53
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2007.08.06 수리 (Accepted) 1-1-2007-0568428-37
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2007.08.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0568429-83
9 등록결정서
Decision to grant		 2007.10.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0549803-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.04 수리 (Accepted) 4-1-2019-5132722-09
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5161225-98
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.12.31 수리 (Accepted) 4-1-2019-5277245-32
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.31 수리 (Accepted) 4-1-2020-5172403-90
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번호 청구항
1 1
기판 위에 형성된 유기재료로 만들어진 감광제 막에 일정한 패턴을 형성하기 위해 상기 패턴을 물로 린스 후 계면활성제를 포함한 이산화탄소로 처리하여 미세 패턴을 건조하는 방법에 있어서,(a) 기판 위에 형성된 패턴을 갖는 패턴 층을 린스(물에 처리)하는 첫번째 단계;(b) 상기 첫번째 단계 후 물이 상기 패턴 층에 부착되어 있는 동안 고압 건조 용기에 넣어 액체 이산화탄소/ 이산화탄소용 계면활성제 혼합액을 이용하여 물을 완전히 제거하는 두번째 단계; 및 (c) 상기 두번째 단계 후 고압 건조 용기 내부의 온도를 높여 초 임계이산화탄소 상태로 처리하여 잔유물을 제거시키는 세번째 단계를 적어도 포함하는 패턴붕괴 방지와 건조시간 단축을 특징으로 하는 패턴 건조 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 계면활성제는 하기 화학식 1로 표시되는 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴건조방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 계면활성제는 하기 화학식 2 내지 3으로 표시되는 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴건조방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 계면활성제는 하기 화학식 4로 표시되는 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴건조방법
5 5
삭제
6 6
제1항의 액체 이산화탄소/계면활성제 혼합액을 이용하여 물을 완전히 제거한 후 온도를 높여 초 임계이산화탄소 상태로 처리하여 잔유물을 제거시키는 공정에 있어서, 액체 이산화탄소 조건은 온도가 25℃ 내지 28℃이고, 압력이 1070psi 내지 3000psi이며, 초 임계이산화탄소 조건은 온도가 31℃ 내지 40℃이고, 압력이 1070psi 내지 3000 psi인 것을 특징으로 하는 패턴건조방법
7 7
제1항에 있어서, 계면활성제는 이산화탄소에 포화시켜 계속 흘려주는 방식으로 물을 제거하고 건조시간 동안 계면활성제를 일정량 공급하도록 하는 것을 특징으로 하는 패턴건조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.