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지지체로부터 각종 오염물질을 제거하는 방법에 있어서 이산화탄소 유체와 상기 재료를 접촉시킬 때 기존의 계면활성제에 비하여 낮은 분자량으로 설계 및 제조되어 세정 효과가 우수한 친 이산화탄소 성분과 소 이산화탄소 성분을 보유하는 것을 특징으로 하는 계면활성제
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제1항에 있어서, 친 이산화탄소 성분은 부분 불소화된 고분자에 의해 제공되고, 소 이산화탄소 성분은 낮은 분자량의 poly(ethylene oxide)에 의해 제공되는 블록공중합체로서, 중합체 조성을 자유 자재로 변화할 수 있기 때문에 계면활성제 성능 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 계면활성제
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제1항에 있어서, 이산화탄소에 대한 용해도는 친 이산화탄소의 함량이 높아질수록 높아지므로 낮은 분자량의 poly(ethylene oxide)을 사용하여 낮은 이산화탄소 성분인 부분불소화 블록의 크기도 줄일 수 있어 전체적으로 낮은 분자량을 제조할 수 있는 것을 특징으로 하는 계면활성제
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제1항에 있어서, 계면활성제는 이산화탄소에 용해성이 우수하고 세정효과가 우수한 하기 화학식 1로 표시되는 것을 특징으로 하는 계면활성제
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제1항에 있어서, 계면활성제는 저 분자량으로 설계 및 제조되어 미세한 틈 사이의 오염물질을 제거할 수 있고, 소량으로 많은 오염물질을 제거할 수 있으며, 지지체에 잔여물을 남기지 않는 것을 특징으로 하는 계면활성제
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제1항에 있어서, 지지체는 금속, 유리, 세라믹, 합성고분자, 천연고분자 및 천연재료 등을 포함하는 세정 방법에 이용되는 것을 특징으로 하는 계면활성제
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제1항에 있어서, 오염물질은 극성 및 비극성 화합물, 고분자, 이온성 물질, 무기화합물, 유기화합물 형태뿐만 아니라 포토레지스트, 의약품, 먼지, 오물, 음식물찌꺼기 등을 포함하는 세정 방법에 이용되는 것을 특징으로 하는 계면활성제
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제 1항에 있어서 이산화탄소 유체는 단독으로 사용될 수도 있고, 물이나 알코올, 산, 염기 등의 첨가제와 함께 사용되는 세정 방법에 이용되는 것을 특징으로 하는 계면활성제
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제 7항에 있어서 이산화탄소 유체는 첨가제와의 혼합액을 포함하여 사용하는 경우, 0
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제 1항에서, 이산화탄소 내에 0
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제 1항에서, 이산화탄소 유체와 오염된 지지체가 접촉하는 도중 또는 접촉하기 전에 용해 또는 분산되거나 이산화탄소의 첨가 전에 오염된 지지체와 접촉될 수 있는 것을 특징으로 하는 계면활성제
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