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초임계이산화탄소 내에서 손상된 낮은 유전 상수의 오가노실리케이트 필름의 소수성을 복원하는 방법

  • 기술번호 : KST2015193858
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플라즈마 식각/애싱 후 손상된 낮은 유전 상수의 절연층에 사용되는 낮은 유전 상수의 오가노실리케이트 필름의 특성을 초임계이산화탄소를 이용하여 복원하는 방법으로서, 손상된 필름을 상압에서 열처리하고, 초임계이산화탄소 내에서 실릴화제를 이용하여 표면 내부까지 소수성을 갖도록 복원하는 기술에 관한 것이다. 초임계이산화탄소, 낮은 유전 막질, 반도체, 다마신공정, 실릴화반응, 인터코넥트
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/324 (2017.01.01)
CPC H01L 21/02312(2013.01) H01L 21/02312(2013.01) H01L 21/02312(2013.01)
출원번호/일자 1020080091629 (2008.09.18)
출원인 부경대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2010-0032652 (2010.03.26) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.09.18)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부경대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임권택 대한민국 부산광역시 부산진구
2 정재목 대한민국 부산광역시 남구
3 이민영 대한민국 부산광역시 해운대구

대리인

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최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.09.18 수리 (Accepted) 1-1-2008-0657257-26
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.05.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.06.12 수리 (Accepted) 9-1-2009-0035371-00
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0274197-52
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.08.25 수리 (Accepted) 1-1-2010-0547834-17
6 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document		 2010.08.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0076982-34
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2010.09.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0399424-75
8 [반려이유통지에 따른 소명]의견(답변, 소명)서
[Substantiation according to Notice of Reason for Return] Written Opinion (Written Response, Written Substantiation)		 2010.09.14 수리 (Accepted) 1-1-2010-0594821-15
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.04 수리 (Accepted) 4-1-2019-5132722-09
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5161225-98
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.12.31 수리 (Accepted) 4-1-2019-5277245-32
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.31 수리 (Accepted) 4-1-2020-5172403-90
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
플라즈마 식각/애싱 후 손상된 낮은 유전 상수의 절연층에 사용되는 낮은 유전 상수의 오가노실리케이트 필름의 특성을 초임계이산화탄소를 이용하여 복원하는 방법으로서, 상기 필름이 표면 내부까지 소수성을 갖도록, 상기 필름을 열처리하는 공정과; 상기 열 처리된 필름을 초임계이산화탄소 내에서 실릴화제를 이용하여 복원하는 공정을 포함하는 방법
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제 1항에 있어서, 열처리 공정은 1 내지 30분의 시간, 100 내지 400℃의 온도에서 비활성기체 분위기의 상압으로 처리되는 것을 특징으로 하는 방법
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제 1항에 있어서, 초임계이산화탄소 내에서 실릴화제를 이용하여 복원하는 공정은 1 내지 180분의 시간, 31 내지 100℃의 온도에서 12 내지 35Mpa의 압력의 초임계이산화탄소로 처리되는 것을 특징으로 하는 방법
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제 1항에 있어서, 실릴화제는 일반식 (R2N)XSiR'Y를 가질 수 있으며, 여기서 X 및 Y는 각각 1 내지 2의 정수 및 2 내지 1의 정수이며, R 및 R'은 수소, 알킬, 아릴, 알릴, 페닐 및 비닐 부위로 이루어지는 군으로부터 선택되고, 또 다른 실릴화제는 RXHYSi-AZ 형태를 가지며, 여기서 X 및 Y는 각각 0 내지 2의 정수 및 3 내지 1의 정수이고, R은 임의의 수소, 알킬, 아릴, 알릴, 페닐 또는 비닐 부위이며, A는 실라잔, 클로로, 아미노 또는 알콕시 부위로 이루어지는 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 방법
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제 1항에 있어서, 실릴화제는 초임계이산화탄소 내에서 0
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국가 R&D 정보가 없습니다.