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플라즈마 손상된 낮은 유전 상수 다공성 필름에 대한 보수성능을 향상시키는 방법

  • 기술번호 : KST2015193878
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플라즈마 식각/애싱 후 손상된 낮은 유전 상수의 절연층에 사용되는 낮은 유전 상수의 다공성 저유전 필름을 초임계이산화탄소를 이용하여 균일하고 신속하게 보수하는 방법으로서, 손상된 필름의 특성을, 통상적인 기상 또는 액상 반응과는 달리, 초임계 이산화탄소 내에서 초음파를 사용하고 실릴화제를 이용하여 필름 내부까지 복원하는 기술에 관한 것이다. 초임계이산화탄소, 다공성 낮은 유전 필름, 반도체, 다마신공정, 실릴화반응, 인터코넥트, 초음파
Int. CL H01L 21/3105 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC H01L 21/3105(2013.01) H01L 21/3105(2013.01) H01L 21/3105(2013.01)
출원번호/일자 1020090090242 (2009.09.23)
출원인 부경대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2011-0032648 (2011.03.30) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 포기
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.09.23)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부경대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임권택 대한민국 부산광역시 부산진구
2 정재목 대한민국 부산광역시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
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최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.09.23 수리 (Accepted) 1-1-2009-0585650-80
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.11.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.12.14 수리 (Accepted) 9-1-2010-0075079-12
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.03.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0124736-78
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.05.03 수리 (Accepted) 1-1-2011-0328134-85
6 등록결정서
Decision to grant		 2011.11.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0654155-93
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.04 수리 (Accepted) 4-1-2019-5132722-09
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5161225-98
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.12.31 수리 (Accepted) 4-1-2019-5277245-32
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.31 수리 (Accepted) 4-1-2020-5172403-90
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
플라즈마 식각/애싱 후 손상된 낮은 유전 상수의 절연층에 사용되는 낮은 유전 상수의 다공성 필름의 특성을 초임계이산화탄소내에서 초음파를 사용한 실릴화반응을 이용하여 복원하는 방법
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제 1항에 있어서, 초임계이산화탄소 내에서 초음파를 사용하는 실릴화 반응공정에서, 반응 공정은 10초 내지 180분의 시간, 31 내지 90℃의 온도에서 6
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제 1항에 있어서, 실릴화제는 일반식 (R2N)XSiR'Y를 가질 수 있으며, 여기서 X 및 Y는 각각 1 내지 2의 정수 및 2 내지 1의 정수이며, R 및 R'은 수소, 알킬, 아릴, 알릴, 페닐 및 비닐 부위로 이루어지는 군으로부터 선택되고, 또 다른 실릴화제는 RXHYSi-AZ 형태를 가지며, 여기서 X 및 Y는 각각 0 내지 2의 정수 및 3 내지 1의 정수이고, R은 임의의 수소, 알킬, 아릴, 알릴, 페닐 또는 비닐 부위이며, A는 실라잔, 클로로, 아미노 또는 알콕시 부위로 이루어지는 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 방법
4 4
제 1항에 있어서, 실릴화제는 초임계이산화탄소 내에서 0
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제 2항에 있어서, 초음파의 주파수 범위는 20KHz 내지 2MHz범위에서 작용시간 10초 내지 5분 단위의 시간으로 펄스단위로 작동하거나, 반응공정 동안 항온조 내에서 작동하는 것을 특징으로 하는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.