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물질막을 형성하는 단계;상기 물질막을 수용성 약액으로 처리하는 단계; 및초임계 이산화탄소 및 계면 활성제를 포함하는 초임계 유체를 사용하여, 상기 수용성 약액을 제거하는 단계를 포함하는 수용성 약액의 건조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 물질막은 실리콘 산화막이고, 상기 수용성 약액으로 처리하는 단계는 순수(DI water) 및 이에 용해된 불소를 포함하는 화학물질 내에 상기 물질막을 담그는(dipping) 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 수용성 약액의 건조 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 계면 활성제는 TMN 계열의 계면활성제, 브랜치를 갖는 불소계 계면활성제 및 불소계 블록 공중합체를 포함하는 계면활성제 중의 적어도 한가지를 포함하는 것을 특징으로 하는 수용성 약액의 건조 방법
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제 3 항에 있어서, 상기 TMN 계열의 계면활성제는 TMN-10을 포함하고, 상기 브랜치를 갖는 불소계 계면활성제는 RfCH2CH2SCH2CH2CO2Li, (RfCH2CH2O)P(O)(ONH4)2 (RfCH2CH2O)2P(O)(ONH4), (RfCH2CH2O)P(O)(OH)2 (RfCH2CH2O)2P(O)(OH), RfCH2CH2O(CH2CH2O)xH, RfCH2CH2O(CH2CH2O)yH, RfCH2CH2O(CH2CH2O)yH 및 RfCH2CH2SO3X (X=H and NH4) 중의 한가지 화학 구조를 갖는 물질 및 F-AOT 중의 적어도 한가지를 포함하고, 상기 불소계 블록 공중합체를 포함하는 계면활성제는 친수성의 고분자 화합물들 중의 적어도 하나 및 소수성의 불소계 고분자 화합물들 중의 적어도 하나가 화학적으로 연결된 블록 공중합체를 포함하는 것을 특징으로 하는 수용성 약액의 건조 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 친수성 고분자 화합물은 Poly ethylene oxide(PEO) chain 및 poly propylene oxide (PPO) 중의 적어도 한가지이고, 상기 소수성의 불소계 고분자 화합물은 poly fluorooctyl methacrylate (PFOMA)인 것을 특징으로 하는 수용성 약액의 건조 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 불소계 블록 공중합체를 포함하는 계면 활성제는 PEO-block-PFOMA(Poly ethylene oxide-block- poly fluorooctyl methacrylate)를 포함하는 것을 특징으로 하는 수용성 약액의 건조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 수용성 약액을 제거하기 전에, IPA 및 HFE 중의 적어도 한가지를 사용하여 상기 수용성 약액으로 처리된 물질막을 린스(rinse)하는 단계를 더 포함하는 수용성 약액의 건조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 수용성 약액을 제거하기 전에, 식각 약품(etching chemical)이 용해된 초임계 이산화탄소를 사용하여 상기 물질막을 식각하는 단계 및 세정 약품(cleaning chemical)이 용해된 초임계 이산화탄소를 사용하여 상기 물질막과 상기 식각 약품의 반응으로부터 생성되는 식각 부산물을 제거하는 단계 중의 적어도 한단계를 더 실시하는 것을 특징으로 하는 수용성 약액의 건조 방법
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