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다수개의 특정가스를 선택적으로 공급할 수 있도록 다수개의 특정가스 유입로에 각각 설치된 다수개의 솔레노이드 밸브와, 상기 다수개의 솔레노이드 밸브에 의해 선택된 특정가스의 유입량을 조절하기 위한 제 1MFC와, 제로가스의 유입량을 조절하기 위한 제 3MFC 및 제 4MFC와, 상기 제 1MFC와 상기 제 3MFC를 통해 유입된 상기 특정가스와 상기 제로가스를 혼합하여 희석된 1차 희석가스의 유입량을 조절하기 위한 제 2MFC와, 상기 제 2MFC의 입력단에 설치되어 상기 제 2MFC의 유입량을 초과하는 상기 1차 희석가스를 버리기 위한 제 1워터트랩과, 상기 제 2MFC와 상기 제 4MFC를 통해 유입된 상기 1차 희석가스와 상기 제로가스를 혼합하여 2차 희석하여 출력하는 출력단과, 입력된 희석비율 및 필요유량에 따라 상기 다수개의 솔레노이드 밸브 및 상기 제 1내지 제 4MFC를 작동을 제어하기 위한 제어부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 MFC를 이용한 가스 희석 장치
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제 1항에 있어서, 상기 다수개의 솔레노이드 밸브의 상기 출력단에 연결되어 상기 제어부의 제어에 따라 상기 제 1MFC로 유입되는 상기 특정가스의 압력을 일정하게 유지하기 제 1레귤레이터와, 상기 제 3MFC와 상기 제 4MFC로 유입되는 상기 제로가스의 유입압력을 상기 제어부의 제어에 따라 일정하게 유지하기 위해 각각 설치된 제 2레귤레이터 및 제 3레귤레이터를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 MFC를 이용한 가스 희석 장치
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제 2항에 있어서, 상기 제 1내지 제 3레귤레이터는 3단계 이상으로 나누어 압력이 조절되는 것을 특징으로 하는 MFC를 이용한 가스 희석 장치
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제 1항에 있어서, 상기 제 1내지 제 4MFC의 출력단에 설치되어 역류를 방지하기 위한 제 1내지 제 4체크밸브를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 MFC를 이용한 가스 희석 장치
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제 4항에 있어서, 상기 제 1내지 제 4체크밸브는 1/3 PSI 압력 이상의 역류를 방지하는 것을 특징으로 하는 MFC를 이용한 가스 희석 장치
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제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 1내지 제 2MFC의 유량 제어범위는 0∼100SCCM이며, 상기 제 3내지 제 4MFC의 유량 제어범위는 0∼1SLM인 것을 특징으로 하는 MFC를 이용한 가스 희석 장치
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제 1항에 있어서, 상기 제 1내지 제 4솔레노이드 밸브는 상호 배타적으로 제어되는 것을 특징으로 하는 MFC를 이용한 가스 희석 장치
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제 1항에 있어서, 상기 출력단의 입력측에 설치되어 상기 출력단에 연결되는 측정기기로의 유입량을 초과하는 2차 희석가스를 버리기 위한 제 2워터트랩을 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 MFC를 이용한 가스 희석 장치
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제 1항에 있어서, 상기 출력단의 입력측에 설치되어 상기 2차 희석가스의 역류를 방지하기 위한 제 5체크밸브를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 MFC를 이용한 가스 희석 장치
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