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동축선로에서 동축도체의 일부분을 제거하여 상기 동축도체를 제 1 동축도체 및 제 2 동축도체로 분리하는 단계;상기 제거된 동축도체의 일부분에 상응하는 유전체의 일부분을 제거하는 단계; 및상기 제 1 동축도체와 상기 제 2 동축도체를 전기적으로 연결하는 단계를 포함하는 프로브 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 전기적으로 연결하는 단계는,상기 제 1 동축도체와 상기 제 2 동축도체를 하나의 연결도체를 통하여 전기적으로 연결하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 전기적으로 연결하는 단계는,상기 제 1 동축도체와 상기 제 2 동축도체를 제 1 연결도체를 통하여 전기적으로 연결하는 단계; 및상기 제 1 동축도체와 상기 제 2 동축도체를 상기 동축선로의 중심선에 대하여 상기 제 1 연결도체와 대칭을 이루는 제 2 연결도체를 통하여 전기적으로 연결하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 동축선로를 ‘ㄷ’자 형상으로 성형하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 제조 방법
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제 4 항에 있어서,상기 동축선로의 ‘ㄷ’자 형상을 유지하기 위한 지지대를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 제조 방법
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원기둥 형상의 중심도체;상기 중심도체의 일 측에서부터 상기 중심도체와 동축인 속이 빈 원기둥 형상으로 형성된 제 1 동축도체;상기 중심도체와 상기 제 1 동축도체 사이에 형성된 제 1 유전체;상기 제 1 동축도체와 분리되어 있고, 상기 중심도체의 타 측에서부터 상기 중심도체와 동축인 속이 빈 원기둥 형상으로 형성된 제 2 동축도체;상기 중심도체와 상기 제 2 동축도체 사이에 형성된 제 2 유전체; 및상기 제 1 동축도체와 상기 제 2 동축도체를 전기적으로 연결하는 연결부를 포함하는 프로브
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제 6 항에 있어서, 상기 연결부는,상기 제 1 동축도체와 상기 제 2 동축도체를 전기적으로 연결하는 하나의 연결도체를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브
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제 6 항에 있어서, 상기 연결부는,상기 제 1 동축도체와 상기 제 2 동축도체를 전기적으로 연결하는 제 1 연결도체; 및상기 중심도체에 대하여 상기 제 1 연결도체와 대칭을 이루고, 상기 제 1 동축도체와 상기 제 2 동축도체를 전기적으로 연결하는 제 2 연결도체를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브
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제 6 항에 있어서,상기 프로브는 ‘ㄷ’자 형상인 것을 특징으로 하는 프로브
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제 9 항에 있어서,상기 ‘ㄷ’자 형상을 유지하기 위한 지지대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브
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동축선로의 일부분에서 동축도체 및 유전체가 제거되어 개방된 부분에 피측정 시료가 충전되고, 상기 동축도체가 제거되어 형성된 제 1 동축도체 및 제 2 동축도체가 전기적으로 연결된 프로브;상기 프로브와 전기적으로 연결되어 상기 피측정 시료가 충전된 상기 프로브의 S-파라미터를 측정하는 네트워크 분석기; 및상기 네트워크 분석기로부터 측정된 상기 S-파라미터로부터 상기 피측정 시료의 복소 유전율 및 복소 투자율을 계산하는 데이터 처리기를 포함하는 측정 장치
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제 12 항에 있어서, 상기 프로브는,원기둥 형상의 중심도체;상기 중심도체의 일 측에서부터 상기 중심도체와 동축인 속이 빈 원기둥 형상으로 형성된 상기 제 1 동축도체;상기 중심도체와 상기 제 1 동축도체 사이에 형성된 제 1 유전체;상기 제 1 동축도체와 분리되어 있고, 상기 중심도체의 타 측에서부터 상기 중심도체와 동축인 속이 빈 원기둥 형상으로 형성된 상기 제 2 동축도체;상기 중심도체와 상기 제 2 동축도체 사이에 형성된 제 2 유전체; 및상기 제 1 동축도체와 상기 제 2 동축도체를 전기적으로 연결하는 연결부를 포함하는 측정 장치
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제 13 항에 있어서, 상기 연결부는,상기 제 1 동축도체와 상기 제 2 동축도체를 전기적으로 연결하는 하나의 연결도체를 포함하는 것을 특징으로 하는 측정 장치
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제 13 항에 있어서, 상기 연결부는,상기 제 1 동축도체와 상기 제 2 동축도체를 전기적으로 연결하는 제 1 연결도체; 및상기 중심도체에 대하여 상기 제 1 연결도체와 대칭을 이루고, 상기 제 1 동축도체와 상기 제 2 동축도체를 전기적으로 연결하는 제 2 연결도체를 포함하는 것을 특징으로 하는 측정 장치
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제 12 항에 있어서, 상기 데이터 처리기는상기 S-파라미터를 측정 T-파라미터로 변환하는 파라미터 변환부;상기 피측정 시료가 충전된 상기 프로브의 등가회로의 등가 T-파라미터를 계산하는 파라미터 계산부; 및상기 측정 T-파라미터와 상기 등가 T-파라미터에 기초하여 복소 유전율 및 복소 투자율을 계산하는 계산부를 포함하는 것을 특징으로 하는 측정 장치
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제 16 항에 있어서, 상기 계산부는,복소 유전율 및 복소 투자율이 알려진 시료를 이용하여 상기 등가 T-파라미터가 포함하는 계수들을 계산하는 보정 작업에 의하여 계산된 상기 계수들을 활용하는 것을 특징으로 하는 측정 장치
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