| 1 |
1
적어도 2개 이상의 페로브스카이트 산화물 계열의 다강체 물질과 금속을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 페로브스카이트 산화물 다강체 합성물
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,
상기 다강체 물질이 BFO인 것을 특징으로 하는 페로브스카이트 산화물 다강체 합성물
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,
상기 다강체 물질이 PZT인 것을 특징으로 하는 페로브스카이트 산화물 다강체 합성물
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,
상기 금속이 Fe인 것을 특징으로 하는 페로브스카이트 산화물 다강체 합성물
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,
상기 다강체 물질이 다강체 물질과 금속 물질의 혼합용액인 것을 특징으로 하는 페로브스카이트 산화물 다강체 합성물
|
| 6 |
6
제5항에 있어서,
상기 혼합용액이 BFO와 PZT 및 금속의 파우더를 혼합한 후, 이를 용매에 녹여서 생성되는 것을 특징으로 하는 페로브스카이트 산화물 다강체 합성물
|
| 7 |
7
제5항에 있어서,
상기 혼합용액이 BFO 용액에 PZT와 금속 파우더를 용해시켜 생성되는 것을 특징으로 하는 페로브스카이트 산화물 다강체 합성물
|
| 8 |
8
제5항에 있어서,
상기 혼합용액이 BFO와 PZT의 혼합용액에 금속 파우더를 용해시켜 생성되는 것을 특징으로 하는 페로브스카이트 산화물 다강체 합성물
|
| 9 |
9
제5항에 있어서,
상기 혼합용액이 BFO와 금속의 혼합용액에 PZT 파우더를 용해시켜 생성되는 것을 특징으로 하는 페로브스카이트 산화물 다강체 합성물
|
| 10 |
10
제5항에 있어서,
상기 혼합용액이 BFO와 PZT 및 금속 용액을 혼합하여 생성되는 것을 특징으로 하는 페로브스카이트 산화물 다강체 합성물
|
| 11 |
11
페로브스카이트 산화물 계열의 다강체 물질을 이용하여 다강체층을 제조하는 제조방법에 있어서,
다강체 물질과 금속의 혼합용액을 생성하는 단계와,
상기 혼합용액을 이용하여 기판상에 다강체층을 형성하는 단계 및,
상기 기판상에 형성된 다강체층을 소성하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 다강체층 제조방법
|
| 12 |
12
제11항에 있어서,
상기 다강체 물질이 BFO와 PZT의 혼합물인 것을 특징으로 하는 다강체층 제조방법
|
| 13 |
13
제11항에 있어서,
상기 다강체층의 형성은 잉크젯, 스핀코팅법 또는 스크린 인쇄 중 하나를 이용하여 실행되는 것을 특징으로 하는 다강체층 제조방법
|
| 14 |
14
페로브스카이트 산화물 계열의 다강체 물질을 이용하여 다강체층을 제조하는 제조방법에 있어서,
적어도 2개 이상의 다강체 물질의 혼합물로 구성된 타깃과 금속 타깃을 준비하는 단계와,
상기 타깃을 이용하여 스퍼터법으로 다강체층을 형성하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 다강체층 제조방법
|
| 15 |
15
제14항에 있어서,
상기 다강체 물질의 혼합물이 BFO와 PZT의 혼합물인 것을 특징으로 하는 다강체층 제조방법
|
| 16 |
16
제14항에 있어서,
상기 금속이 Fe인 것을 특징으로 하는 다강체층 제조방법
|
| 17 |
17
페로브스카이트 산화물 계열의 다강체 물질을 이용하여 다강체층을 제조하는 제조방법에 있어서,
제1 다강체 물질의 타깃을 준비하는 단계와,
상기 제1 다강체 물질과는 다른 제2 다강체 물질과 금속의 혼합물로 구성되는 타깃을 준비하는 단계와,
상기 타깃들을 이용하여 스퍼터법으로 다강체층을 형성하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 다강체층 제조방법
|
| 18 |
18
제17항에 있어서,
상기 제1 다강체 물질이 BFO이고, 제2 다강체 물질이 PZT인 것을 특징으로 하는 다강체층 제조방법
|
| 19 |
19
제17항에 있어서,
상기 제1 다강체 물질이 PZT이고, 제2 다강체 물질이 BFO인 것을 특징으로 하는 다강체층 제조방법
|
| 20 |
20
제17항에 있어서,
상기 금속이 Fe인 것을 특징으로 하는 다강체층 제조방법
|
| 21 |
21
페로브스카이트 산화물 계열의 다강체 물질을 이용하여 다강체층을 제조하는 제조방법에 있어서,
서로 다른 제1 및 제2 다강체 물질과 금속의 타깃을 각각 준비하는 단계와,
상기 타깃을 이용하여 스퍼터법으로 다강체층을 형성하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 다강체층 제조방법
|
| 22 |
22
제21항에 있어서,
상기 제1 및 제2 다강체 물질이 각각 BFO와 PZT인 것을 특징으로 하는 다강체층 제조방법
|
| 23 |
23
제21항에 있어서,
상기 금속이 Fe인 것을 특징으로 하는 다강체층 제조방법
|
