| 1 |
1
실리콘원 가스와 질소원 가스를 박막 성장 시스템에 함께 공급하여 실리콘 기판 위에 실리콘 질화막을 성장시키되, 상기 실리콘 질화막 성장시 단지 RF 플라즈마 파워만을 변화시킴으로 상기 실리콘 질화막 내에 가시광 파장대에 대응되는 실리콘 나노구조를 연속적으로 형성시키는 것을 특징으로 하는 연속적 파워조절을 통한 백색광을 갖는 실리콘 발광소자 제조방법
|
| 2 |
2
청구항 1에 있어서,상기 실리콘원 가스와 질소원 가스는 1 : 25 ~ 35 의 부피비로 공급하되, 상기 실리콘 질화막 성장시 상기 부피비 범위 내에서 선택된 한 부피비로 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 연속적 파워조절을 통한 백색광을 갖는 실리콘 발광소자 제조방법
|
| 3 |
3
청구항 1에 있어서,상기 RF 플라즈마 파워를 증가시키거나 혹은 감소시키며 변화시키는 것을 특징으로 하는 연속적 파워조절을 통한 백색광을 갖는 실리콘 발광소자 제조방법
|
| 4 |
4
청구항 1에 있어서,상기 RF 플라즈마 파워를 n차 곡선 형태로 입력하여 원하는 모양의 발광 스펙트럼을 얻는 것을 특징으로 하는 연속적 파워조절을 통한 백색광을 갖는 실리콘 발광소자 제조방법
|
| 5 |
5
청구항 1에 있어서,상기 RF 플라즈마 파워가 초기 값에서 증감되어 다른 값으로 변화하게 될 때 하나의 값에서 머무르는 시간(holding time)을 조절하여 발광 색상의 정밀도를 높이는 것을 특징으로 하는 연속적 파워조절을 통한 백색광을 갖는 실리콘 발광소자 제조방법
|
| 6 |
6
청구항 1 내지 청구항 5 중 선택된 어느 하나의 실리콘 발광소자 제조방법으로 제조된 것을 특징으로 하는 실리콘계 발광소자
|
