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전도성 탄화규소 벌크소재 및 그 조성물

  • 기술번호 : KST2015194962
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전도성 탄화규소 벌크 소재 및 그 조성물에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 탄화규소 소재 제조용 조성물에 있어서, 상기 조성물은 탄화규소와, 소결첨가제를 포함하되, 여기에 질화티타늄이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 전도성 탄화규소 벌크소재 제조용 조성물과, 상온에서 1×10-4 ~ 9×10-2 Ωcm 범위의 체적비저항을 가지고, 4 K (-269℃) ~ 300 K (27℃) 온도범위에서 온도에 따른 체적비저항의 변화율이 ±5% 이내인 것을 특징으로 하는 전도성 탄화규소 벌크소재 및 그 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, 체적 비저항이 온도 변화에 따라 ±5% 이내에서 거의 변하지 않으므로 각종 소자 (device) 및 저온 전극재료, 반도체 공정 장비의 히터(heater) 소재, 히터 플레이트(heater plate) 소재, 엣지 링, 포커스 링, 반도체 공정용 더미 웨이퍼 (dummy wafer), 웨이퍼용 보트(boat), 내플라즈마용 각종 부품 및 저온에서 표준 저항체, 우주 공간에서 각종 저항체 등으로 응용시 온도 변화에 거의 무관한 체적비저항을 나타내므로 우수한 전기적 안정성을 갖는 소재의 제조가 가능하다.
Int. CL C04B 35/573 (2006.01) H01B 3/12 (2006.01) C04B 35/565 (2006.01) C04B 35/58 (2006.01)
CPC C04B 35/575(2013.01) C04B 35/575(2013.01) C04B 35/575(2013.01) C04B 35/575(2013.01) C04B 35/575(2013.01) C04B 35/575(2013.01) C04B 35/575(2013.01) C04B 35/575(2013.01)
출원번호/일자 1020130095973 (2013.08.13)
출원인 서울시립대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1483016-0000 (2015.01.09)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150119) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.08.13)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울시립대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 동대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김영욱 대한민국 서울특별시 도봉구
2 김광주 대한민국 경기도 구리시
3 김건모 대한민국 서울특별시 송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 최환욱 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **, *층(역삼동, 케이앤와이빌딩)(특허법인 수)
2 강민수 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, *층 (역삼동, 우일빌딩)(광개토국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (주)단단 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.08.13 수리 (Accepted) 1-1-2013-0733872-19
2 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.08.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0753163-25
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000287-10
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.09.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0658863-07
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.10.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0956939-33
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.10.07 수리 (Accepted) 1-1-2014-0956938-98
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2014.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0857445-93
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2014-1221594-70
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.12.16 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-1221595-15
10 등록결정서
Decision to grant
2014.12.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0892247-14
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.17 수리 (Accepted) 4-1-2017-5009116-18
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.09.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5191631-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
탄화규소 소재 제조용 조성물에 있어서,상기 조성물은 탄화규소와, 소결첨가제를 포함하되, 여기에 질화티타늄이 더 포함되고,상기 탄화규소는 β-탄화규소이며, 상기 조성물은 전체중량을 100 중량부로 하였을 때, β-탄화규소는 70
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서,상기 소결첨가제는,스칸듐(Sc), 이트륨(Y), 란타늄(La), 프라세오디뮴(Pr), 네오디뮴(Nd), 사마륨(Sm), 가돌리늄(Gd), 디스프로슘(Dy), 홀뮴(Ho), 에르븀 (Er), 루테튬(Lu)의 산화물, 나이트레이트 또는 나이트레이트 하이드레이트(hydrate) 화합물 중에서 선택되는 한가지 이상의 물질인 것을 특징으로 하는 전도성 탄화규소 벌크소재 제조용 조성물
4 4
제 1 항에 있어서,상기 β-탄화규소는 마이크로미터 또는 서브마이크로미터 단위의 크기인 것을 특징으로 하는 전도성 탄화규소 벌크소재 제조용 조성물
5 5
삭제
6 6
전도성 탄화규소 벌크소재의 제조방법에 있어서,상기 제조방법은,원료물질인 탄화규소와, 소결첨가제 및 질화티타늄을 칭량하는 단계;상기 칭량된 원료물질을 용매내에서 혼합하여 혼합물을 제조하는 단계; 및상기 혼합물을 몰드에 장입하고, 질소분위기를 유지하여 소결함으로써 소결체를 제조하는 단계;를 포함하고,상기 탄화규소는 β-탄화규소이며, 상기 원료물질의 전체중량을 100 중량부로 하였을 때, β-탄화규소는 70
7 7
제 6 항에 있어서,상기 소결하는 단계는,열처리 시작 온도에서부터 700℃까지 압력을 가하지 않고 진공중에서 가열한 후, 그 이후에서부터 1750 ~ 2000℃의 온도범위까지 10 ~ 40 MPa의 압력 및 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 서울시립대학 기초연구사업/중견연구자지원사업/핵심연구지원사업 고기능성 탄화규소-질화물 복합재료