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듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 초음파 트랜스듀서 및 이를 구비하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 접합 장치

  • 기술번호 : KST2015195067
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 초음파 트랜스듀서 및 이를 구비하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 접합 장치에 관한 것이다. 본 발명은 몸체부의 전방으로 캐필러리가 삽입된 전방부가 형성되고, 몸체부의 후방으로 전방부와 대칭으로 돌출된 후방부가 형성되며, 몸체부의 양 측면에 고정부가 형성된다. 또한 몸체부와 후방부에 임피던스 조정을 위한 조정홈이 형성된다. 따라서 본 발명에 따른 초음파 트랜스듀서는 두 개의 타겟 주파수를 동시에 가져 Ball bonding과 Wedge bonding에 모두 사용이 가능하며, 낮은 임피던스를 가져 짧은 시간에 고품질의 본딩(bonding)이 가능하다.
Int. CL H01L 21/60 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020130062100 (2013.05.30)
출원인 서울시립대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1504646-0000 (2015.03.16)
공개번호/일자 10-2014-0140979 (2014.12.10) 문서열기
공고번호/일자 (20150323) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.05.30)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울시립대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 동대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이수일 대한민국 서울특별시 서초구
2 하기홍 대한민국 경기도 구리시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 천지 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 신한빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울시립대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 동대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0484145-71
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.12.24 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000287-10
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.02.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0013103-38
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0143580-46
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.04.25 수리 (Accepted) 1-1-2014-0399044-20
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.04.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0399046-11
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.08.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0554867-73
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.10.14 수리 (Accepted) 1-1-2014-0977530-11
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.10.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0977531-56
11 등록결정서
Decision to grant
2015.01.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0020761-42
12 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.03.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-0252129-90
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.17 수리 (Accepted) 4-1-2017-5009116-18
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.09.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5191631-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
압전소자를 삽입하기 위한 삽입구가 중앙의 상부면에서 하부면으로 관통하여 형성된 몸체부;상기 몸체부의 전방에서 돌출되어 형성되며, 끝단에 캐필러리 홀이 형성되어 캐필러리가 삽입된 전방부;상기 몸체부의 후방에서 상기 전방부와 대칭으로 돌출되어 형성된 후방부; 및상기 몸체부의 양 측면에 돌출되어 형성된 고정부;를 포함하며, 상기 몸체부는 측면에 임피던스를 조정하기 위한 몸체부 조정홈이 형성된 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 초음파 트랜스듀서
2 2
제1항에 있어서,상기 몸체부의 삽입구에는 복수의 압전소자, 복수의 전원 공급용 동판, 쇄기가 삽입되며, 상기 복수의 압전소자와 상기 복수의 전원 공급용 동판은 교대로 교차하여 삽입되며, 상기 쇄기는 상기 압전소자에 예압을 가하는 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 초음파 트랜스듀서
3 3
제2항에 있어서,상기 몸체부의 재질은 티타늄이고, 상기 쇄기의 재질은 알루미늄인 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 초음파 트랜스듀서
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서,상기 몸체부 조정홈은 상기 고정부와 상기 몸체부 사이를 관통하여 형성되는 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 초음파 트랜스듀서
6 6
제1항에 있어서,상기 후방부는 임피던스를 조정하기 위한 후방부 조정홈이 적어도 하나 형성된 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 초음파 트랜스듀서
7 7
제6항에 있어서,상기 후방부 조정홈은 4개 형성되며, 대향하는 위치에 형성된 후방부 조정홈은 동일한 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 초음파 트랜스듀서
8 8
압전소자를 삽입하기 위한 삽입구가 중앙의 상부면에서 하부면으로 관통하여 형성된 몸체부와, 상기 몸체부의 전방에서 돌출되어 형성되며 끝단에 캐필러리 홀이 형성되어 캐필러리가 삽입된 전방부와, 상기 몸체부의 후방에서 상기 전방부와 대칭으로 돌출되어 형성된 후방부와, 상기 몸체부의 양 측면에 돌출되어 형성된 고정부를 구비하는 초음파 트랜스듀서; 상기 고정부와 결합되어 상기 초음파 트랜스듀서를 지지하는 본더; 및 상기 압전소자에 가하는 전압의 주파수를 변화시키는 주파수 변조부;를 포함하며, 상기 몸체부는 측면에 임피던스를 조정하기 위한 몸체부 조정홈이 형성된 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 접합 장치
9 9
제8항에 있어서, 상기 초음파 트랜스듀서의 고정부에는 체결구가 형성되며,상기 체결구에 나사 또는 볼트를 삽입해 상기 고정부와 상기 본더를 결합시키는 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 접합 장치
10 10
제9항에 있어서, 상기 체결구에는 진동 방지를 위한 패드가 부착된 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 접합 장치
11 11
제8항에 있어서,상기 몸체부의 삽입구에는 복수의 압전소자, 복수의 전원 공급용 동판, 쇄기가 삽입되며, 상기 복수의 압전소자와 상기 복수의 전원 공급용 동판은 교대로 교차하여 삽입되며,상기 쇄기는 상기 압전소자에 예압을 가하는 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 접합 장치
12 12
제11항에 있어서,상기 주파수 변조부는 상기 복수의 전원 공급용 동판과 연결되는 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 접합 장치
13 13
삭제
14 14
제8항에 있어서,상기 몸체부 조정홈은 상기 고정부와 상기 몸체부 사이를 관통하여 형성되는 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 접합 장치
15 15
제8항에 있어서,상기 후방부는 임피던스를 조정하기 위한 후방부 조정홈이 적어도 하나 형성된 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 접합 장치
16 16
제15항에 있어서,상기 후방부 조정홈은 4개 형성되며, 대향하는 위치에 형성된 후방부 조정홈은 동일한 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 접합 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 (주)씨이텍 산학연협력기술개발 하이브리드 듀얼모드 와이어본딩 초음파 트랜스듀서 개발