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압전소자를 삽입하기 위한 삽입구가 중앙의 상부면에서 하부면으로 관통하여 형성된 몸체부;상기 몸체부의 전방에서 돌출되어 형성되며, 끝단에 캐필러리 홀이 형성되어 캐필러리가 삽입된 전방부;상기 몸체부의 후방에서 상기 전방부와 대칭으로 돌출되어 형성된 후방부; 및상기 몸체부의 양 측면에 돌출되어 형성된 고정부;를 포함하며, 상기 몸체부는 측면에 임피던스를 조정하기 위한 몸체부 조정홈이 형성된 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 초음파 트랜스듀서
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제1항에 있어서,상기 몸체부의 삽입구에는 복수의 압전소자, 복수의 전원 공급용 동판, 쇄기가 삽입되며, 상기 복수의 압전소자와 상기 복수의 전원 공급용 동판은 교대로 교차하여 삽입되며, 상기 쇄기는 상기 압전소자에 예압을 가하는 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 초음파 트랜스듀서
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제2항에 있어서,상기 몸체부의 재질은 티타늄이고, 상기 쇄기의 재질은 알루미늄인 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 초음파 트랜스듀서
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제1항에 있어서,상기 몸체부 조정홈은 상기 고정부와 상기 몸체부 사이를 관통하여 형성되는 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 초음파 트랜스듀서
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6
제1항에 있어서,상기 후방부는 임피던스를 조정하기 위한 후방부 조정홈이 적어도 하나 형성된 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 초음파 트랜스듀서
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7
제6항에 있어서,상기 후방부 조정홈은 4개 형성되며, 대향하는 위치에 형성된 후방부 조정홈은 동일한 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 초음파 트랜스듀서
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8
압전소자를 삽입하기 위한 삽입구가 중앙의 상부면에서 하부면으로 관통하여 형성된 몸체부와, 상기 몸체부의 전방에서 돌출되어 형성되며 끝단에 캐필러리 홀이 형성되어 캐필러리가 삽입된 전방부와, 상기 몸체부의 후방에서 상기 전방부와 대칭으로 돌출되어 형성된 후방부와, 상기 몸체부의 양 측면에 돌출되어 형성된 고정부를 구비하는 초음파 트랜스듀서; 상기 고정부와 결합되어 상기 초음파 트랜스듀서를 지지하는 본더; 및 상기 압전소자에 가하는 전압의 주파수를 변화시키는 주파수 변조부;를 포함하며, 상기 몸체부는 측면에 임피던스를 조정하기 위한 몸체부 조정홈이 형성된 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 접합 장치
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9
제8항에 있어서, 상기 초음파 트랜스듀서의 고정부에는 체결구가 형성되며,상기 체결구에 나사 또는 볼트를 삽입해 상기 고정부와 상기 본더를 결합시키는 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 접합 장치
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10
제9항에 있어서, 상기 체결구에는 진동 방지를 위한 패드가 부착된 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 접합 장치
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11
제8항에 있어서,상기 몸체부의 삽입구에는 복수의 압전소자, 복수의 전원 공급용 동판, 쇄기가 삽입되며, 상기 복수의 압전소자와 상기 복수의 전원 공급용 동판은 교대로 교차하여 삽입되며,상기 쇄기는 상기 압전소자에 예압을 가하는 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 접합 장치
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12
제11항에 있어서,상기 주파수 변조부는 상기 복수의 전원 공급용 동판과 연결되는 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 접합 장치
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제8항에 있어서,상기 몸체부 조정홈은 상기 고정부와 상기 몸체부 사이를 관통하여 형성되는 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 접합 장치
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제8항에 있어서,상기 후방부는 임피던스를 조정하기 위한 후방부 조정홈이 적어도 하나 형성된 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 접합 장치
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제15항에 있어서,상기 후방부 조정홈은 4개 형성되며, 대향하는 위치에 형성된 후방부 조정홈은 동일한 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 듀얼모드를 갖는 와이어본딩용 접합 장치
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