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강유전 물질과 금속의 혼합물로 구성되고,상기 강유전 물질에 대한 상기 금속의 혼합비는 2중량% 이하이며,상기 혼합물은,상기 강유전 물질의 파우더와 상기 금속의 파우더를 혼합하는 방법, 상기 강유전 물질의 용액과 상기 금속의 파우더를 함께 용해시키는 방법, 상기 강유전 물질의 용액과 상기 금속의 용액을 혼합하는 방법 및 상기 강유전 물질의 파우더와 상기 금속의 파우더를 혼합 및 소결하는 방법 중 적어도 하나에 의해 생성되는 것을 특징으로 하는 강유전 물질
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제1항에 있어서,상기 금속은 철(Fe)인 것을 특징으로 하는 강유전 물질
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제1항에 있어서,상기 강유전 물질이 PZT인 것을 특징으로 하는 강유전 물질
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제1항에 있어서,상기 강유전 물질이 BLT인 것을 특징으로 하는 강유전 물질
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제1항에 있어서,상기 강유전 물질이 산화물 강유전체, 고분자 강유전체, 불화물 강유전체, 강유전체 반도체 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 강유전 물질
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강유전 물질에 있어서,상기 강유전 물질에 대하여 금속이 혼합되고,상기 강유전 물질에 대한 금속의 혼합비가 2중량% 이하이며,상기 강유전 물질에 대한 금속의 혼합은,상기 강유전 물질의 파우더와 상기 금속의 파우더를 혼합하는 방법, 상기 강유전 물질의 용액과 상기 금속의 파우더를 함께 용해시키는 방법, 상기 강유전 물질의 용액과 상기 금속의 용액을 혼합하는 방법 및 상기 강유전 물질의 파우더와 상기 금속의 파우더를 혼합 및 소결하는 방법 중 적어도 하나에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 강유전 물질
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제6항에 있어서,상기 금속은 철(Fe)인 것을 특징으로 하는 강유전 물질
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강유전체층을 형성하는 방법에 있어서,강유전 물질의 파우더를 준비하는 단계;철(Fe)의 파우더를 준비하는 단계;강유전 물질 파우더와 철(Fe)의 파우더를 혼합 및 소결하여 타겟을 생성하는 단계; 및상기 타겟을 이용하여 기판상에 강유전체층을 성막하는 단계;를 포함하되,상기 강유전 물질에 대한 철의 혼합비가 2중량% 이하인 것을 특징으로 하는 강유전체층의 형성방법
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제8항에 있어서,상기 강유전 물질이 산화물 강유전체, 고분자 강유전체, 불화물 강유전체, 강유전체 반도체 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 강유전체층의 형성방법
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강유전체층을 형성하는 방법에 있어서,강유전 물질과 철(Fe)의 혼합 용액을 생성하는 단계;상기 혼합 용액을 기판상에 코팅하는 단계; 및상기 코팅된 강유전체층을 소결하는 단계;를 포함하되,상기 강유전 물질에 대한 철의 혼합비가 2중량% 이하인 것을 특징으로 하는 강유전체층의 형성방법
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