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황산구리(CuSO4·5H2O) 80~200g/L, 황산(H2SO4) 40~65g/L, 염화수소(HCl) 0
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제 1항에 있어서,상기 가속제는 농도 50~100ppm의 비즈-(3-설포프로필) 디술피드(bis-(3-sulfopropyl) disulfide(SPS))인 것을 특징으로 하는 TSV 충전용 전해 구리 도금액
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제 1항에 있어서,상기 억제제는 농도 100~200ppm의 폴리에틸렌글리콜(Poly Ethylene Glycol(PEG))인 것을 특징으로 하는 TSV 충전용 전해 구리 도금액
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제 1항에 있어서,상기 레벨러는 농도 5~20ppm의 야누스 그린 B(Janus Green B)인 것을 특징으로 하는 TSV 충전용 전해 구리 도금액
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제 1항에 있어서,상기 습윤제는 농도 0
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(A) 비아 충전용 전해 구리 도금액을 제조하는 단계;(B) 실리콘 웨이퍼에 비아를 형성한 후, 상기 비아 내부에 절연층(SiO2), 확산 방지층(Ti) 및 시드층(Cu)을 순차적으로 형성하는 단계;(C) 실리콘 웨이퍼를 연마포로 연마한 후, 염화수소(HCl) 용액에서 에칭을 실시하여 비아 표면의 산화막을 제거하는 단계; 및(D) 전류공급장치를 통해 비아에 전류차단 시간이 적용된 주기적인 펄스 및 역펄스 전류를 인가하여 비아 내에 구리 도금액을 충전하는 단계를 포함하며,상기 전류차단 시간이 적용된 주기적인 펄스 및 역펄스 전류를 인가하는 조건은, 펄스 도금 시간이 1초~50초이고, 역펄스 도금 시간이 0
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제 7항에 있어서,상기 전해 구리 도금액은,황산구리(CuSO4·5H2O) 80~200g/L, 황산(H2SO4) 40~65g/L, 염화수소(HCl) 0
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제 7항에 있어서,상기 펄스 도금 시간에 인가되는 전류밀도는 3~5mA/cm2이고, 역펄스 도금 시간에 인가되는 전류밀도는 12~15mA/cm2인 것을 특징으로 하는 TSV 충전용 전해 구리 도금액을 이용한 TSV의 충전방법
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