| 1 |
1
압전재료의 양면에 전극을 형성하여 이루어지는 전센서에 있어서,상기 압전재료는 강유전무기물질과 금속물질의 혼합물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 압전센서
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 강유전무기물질은 PZT인 것을 특징으로 하는 압전센서
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 금속물질은 철(Fe)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 압전센서
|
| 4 |
4
압전재료의 양면에 전극을 형성하여 이루어지는 압전센서에 있어서,상기 압전재료는 강유전무기물질과 금속물질 및 유기물의 혼합물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 압전센서
|
| 5 |
5
제4항에 있어서,상기 강유전무기물질은 PZT인 것을 특징으로 하는 압전센서
|
| 6 |
6
제4항에 있어서,상기 금속물질은 철(Fe)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 압전센서
|
| 7 |
7
압전재료의 양면에 전극을 형성하여 이루어지는 압전센서에 있어서,상기 압전재료는 강유전무기물질과 금속물질 및 강유전유기물질의 혼합물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 압전센서
|
| 8 |
8
제7항에 있어서,상기 강유전무기물질은 PZT인 것을 특징으로 하는 압전센서
|
| 9 |
9
제7항에 있어서,상기 금속물질은 철(Fe)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 압전센서
|
| 10 |
10
제7항에 있어서,상기 강유전유기물질은 β상 PVDF인 것을 특징으로 하는 압전센서
|
| 11 |
11
압전재료의 양면에 전극을 형성하여 이루어지는 압전센서에 있어서,상기 압전재료는 강유전유기물질과 금속물질의 혼합물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 압전센서
|
| 12 |
12
제11항에 있어서,상기 강유전유기물질은 β상 PVDF인 것을 특징으로 하는 압전센서
|
| 13 |
13
제11항에 있어서,상기 금속물질은 철(Fe)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 압전센서
|
| 14 |
14
압전재료의 양면에 전극을 형성하여 이루어지는 압전센서에 있어서,상기 압전재료는 강유전무기물질과 강유전유기물질의 혼합물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 압전센서
|
| 15 |
15
제14항에 있어서,상기 강유전무기물질은 PZT인 것을 특징으로 하는 압전센서
|
| 16 |
16
제14항에 있어서,상기 강유전유기물질은 β상 PVDF인 것을 특징으로 하는 압전센서
|
| 17 |
17
강유전무기물질과 금속물질을 혼합하여 압전재료를 생성하는 제1 단계와,상기 압전재료의 양면에 전극을 형성하는 제2 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 18 |
18
제17항에 있어서,상기 제1 단계는 강유전무기물질의 파우더와 금속물질의 파우더를 혼합한 후 이를 용매에 녹여서 생성된 혼합용액으로 압전재료를 형성하는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 19 |
19
제17항에 있어서,상기 제1 단계는 강유전무기물질 용액에 금속물질의 파우더를 용해시켜 생성된 혼합용액으로 압전재료를 형성하는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 20 |
20
제17항에 있어서,상기 제1 단계는 강유전무기물질 용액에 금속물질 용액을 혼합하여 생성된 혼합용액으로 압전재료를 형성하는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 21 |
21
제17항에 있어서,상기 제1 단계는 강유전무기물질 용액에 금속물질의 파우더를 혼합 및 소결하여 압전재료를 형성하는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 22 |
22
제17항에 있어서,상기 제1 단계에서 강유전무기물질은 PZT인 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 23 |
23
제17항에 있어서,상기 제1 단계에서 금속물질은 철(Fe)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 24 |
24
강유전무기물질과 금속물질 및 유기물질을 혼합하여 압전재료를 생성하는 제11 단계와,상기 압전재료의 양면에 전극을 형성하는 제12 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 25 |
25
제24항에 있어서,상기 제11 단계는 강유전무기물질의 파우더와 금속물질의 파우더 및 유기물물질의 파우더를 혼합한 후 이를 용매에 녹여서 생성된 혼합용액으로 압전재료를 형성하는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 26 |
26
제24항에 있어서,상기 제11 단계는 강유전무기물질과 유기물질의 용액에 금속물질의 파우더를 용해시켜 생성된 혼합용액으로 압전재료를 형성하는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 27 |
27
제24항에 있어서,상기 제11 단계는 강유전무기물질과 유기물질의 용액에 금속물질 용액을 혼합하여 생성된 혼합용액으로 압전재료를 형성하는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 28 |
28
제24항에 있어서,상기 제11 단계는 강유전무기물질과 유기물질의 용액에 금속물질의 파우더를 혼합 및 소결하여 압전재료를 형성하는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 29 |
29
제24항에 있어서,상기 제11 단계에서 강유전무기물질은 PZT인 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 30 |
30
제24항에 있어서,상기 제11 단계에서 금속물질은 철(Fe)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 31 |
31
강유전무기물질과 금속물질 및 강유전유기물질을 혼합하여 압전재료를 생성하는 제21 단계와,상기 압전재료의 양면에 전극을 형성하는 제22 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 32 |
32
제31항에 있어서,상기 제21 단계는 강유전무기물질의 파우더와 금속물질의 파우더 및 강유전유기물질의 파우더를 혼합한 후 이를 용매에 녹여서 생성된 혼합용액으로 압전재료를 형성하는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 33 |
33
제31항에 있어서,상기 제21 단계는 강유전무기물질과 강유전유기물질의 용액에 금속물질의 파우더를 용해시켜 생성된 혼합용액으로 압전재료를 형성하는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 34 |
34
제31항에 있어서,상기 제21 단계는 강유전무기물질과 강유전유기물질의 용액에 금속물질 용액을 혼합하여 생성된 혼합용액으로 압전재료를 형성하는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 35 |
35
제31항에 있어서,상기 제21 단계는 강유전무기물질과 강유전유기물질의 용액에 금속물질의 파우더를 혼합 및 소결하여 압전재료를 형성하는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 36 |
36
제31항에 있어서,상기 제21 단게에서 강유전무기물질은 PZT인 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 37 |
37
제31항에 있어서,상기 제21 단계에서 금속물질은 철(Fe)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 38 |
38
제31항에 있어서,상기 제21 단계에서 강유전유기물질은 β상 PVDF인 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 39 |
39
강유전유기물질과 금속물질을 혼합하여 압전재료를 생성하는 제31 단계와,상기 압전재료의 양면에 전극을 형성하는 제32 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 40 |
40
제39항에 있어서,상기 제31 단계는 강유전유기물질의 파우더와 금속물질의 파우더를 혼합한 후 이를 용매에 녹여서 생성된 혼합용액으로 압전재료를 형성하는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 41 |
41
제39항에 있어서,상기 제31 단계는 강유전유기물질의 용액에 금속물질의 파우더를 용해시켜 생성된 혼합용액으로 압전재료를 형성하는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 42 |
42
제39항에 있어서,상기 제31 단계는 강유전유기물질의 용액에 금속물질 용액을 혼합하여 생성된 혼합용액으로 압전재료를 형성하는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 43 |
43
제39항에 있어서,상기 제31 단계는 강유전유기물질의 용액에 금속물질의 파우더를 혼합 및 소결하여 압전재료를 형성하는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 44 |
44
제39항에 있어서,상기 제31 단계에서 강유전유기물질은 β상 PVDF인 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 45 |
45
제39항에 있어서,상기 제31 단계에서 금속물질은 철(Fe)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 46 |
46
강유전무기물질과 강유전유기물질을 혼합하여 압전재료를 생성하는 제41 단계와,상기 압전재료의 양면에 전극을 형성하는 제42 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 47 |
47
제46항에 있어서,상기 제41 단계에서 강유전무기물질은 PZT인 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 48 |
48
제46항 또는 제47항에 있어서,상기 제41단계에서 강유전유기물질은 β상 PVDF인 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 49 |
49
강유전무기물질과 PVDF를 혼합하여 압전재료를 생성하는 제51 단계,상기 압전재료의 양면에 전극을 형성하는 제52 단계 및,전극이 형성된 압전재료를 고온 소성 후 급속 냉각하여 β상 PVDF를 형성하는 제53 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 50 |
50
제49항에 있어서,상기 제51 단계에서 강유전무기물질은 PZT인 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 51 |
51
강유전무기물질과 PVDF를 혼합하여 압전재료를 생성하는 제61 단계,상기 압전재료를 고온 소성 후 급속 냉각하여 β상 PVDF를 형성하는 제62단계 및, 상기 압전재료의 양면에 전극을 형성하는 제63 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
| 52 |
52
제51항에 있어서,상기 제61단계에서 강유전무기물질은 PZT인 것을 특징으로 하는 압전센서 제조방법
|
