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유전율 측정장치에 있어서,일정한 폭과 두께를 가지며 내부에 홈이 형성된 제1 기판;상기 제1기판의 내부에 형성된 상기 홈의 내부에 구비되는 신호선; 및상기 제1 기판 및 상기 신호선의 상부에 형성되어 상기 제1 기판 및 상기 신호선을 덮는 제2 기판;을 포함하되,상기 제2 기판은,상기 신호선의 일부가 외부로 노출되도록 형성된 것을 특징으로 하는 고온의 액체 상태 물질의 유전율 측정이 가능한 유전율 측정장치
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제 1항에 있어서, 상기 제1 기판 및 제2 기판은RF 기판인 것을 특징으로 하는 고온의 액체 상태 물질의 유전율 측정이 가능한 유전율 측정장치
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3 |
3
제 1항에 있어서, 상기 신호선은상기 제1 기판과 소정의 간격만큼 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 고온의 액체 상태 물질의 유전율 측정이 가능한 유전율 측정장치
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제 3항에 있어서, 상기 신호선은상기 신호선과 상기 제1 기판 사이의 이격된 거리는 0
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제 1항에 있어서,외부로 노출된 상기 신호선의 길이는 10 mm 이하인 것을 특징으로 하는 고온의 액체 상태 물질의 유전율 측정이 가능한 유전율 측정장치
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제 1항에 있어서,외부로 노출된 상기 신호선의 끝단부가 상기 제1 기판의 끝단부로부터 이격된 거리는 10 mm 이하인 것을 특징으로 하는 고온의 액체 상태 물질의 유전율 측정이 가능한 유전율 측정장치
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7
제 1항에 있어서, 상기 제1 기판은접지선에 연결된 것을 특징으로 하는 고온의 액체 상태 물질의 유전율 측정이 가능한 유전율 측정장치
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8
제 1항에 있어서, 상기 신호선은구리(Cu) 재질인 것을 특징으로 하는 고온의 액체 상태 물질의 유전율 측정이 가능한 유전율 측정장치
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제 1항에 있어서, 상기 제1 기판, 상기 신호선 및 상기 제2 기판은 동일평면 도파관을 형성하는 것을 특징으로 하는 고온의 액체 상태 물질의 유전율 측정이 가능한 유전율 측정장치
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