요약 | 본 발명은 MFMS(Metal-Ferroelectric-Metal-Semiconductor) 구조를 갖는 전계효과 트랜지스터와 강유전체 메모리 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 전계효과 트랜지스터 및 강유전체 메모리 장치는 소오스 및 드레인 영역(2, 3)과 그 사이에 채널영역(4)이 형성되는 기판(1)과, 상기 기판의 채널영역 상측에 형성되는 하부전극층(30), 상기 하부전극층상에 형성되는 강유전체층(31) 및, 상기 강유전체층상에 형성되는 상부전극층(32)을 구비하여 구성된다.강유전체, 메모리, MFMS |
---|---|
Int. CL | H01L 21/8247 (2006.01.01) H01L 27/115 (2017.01.01) |
CPC | H01L 27/1159(2013.01) H01L 27/1159(2013.01) H01L 27/1159(2013.01) H01L 27/1159(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020070057534 (2007.06.12) |
출원인 | 서울시립대학교 산학협력단 |
등록번호/일자 | 10-0866314-0000 (2008.10.27) |
공개번호/일자 | 10-2008-0055589 (2008.06.19) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20081103) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 |
대한민국 | 1020060127494 | 2006.12.13
|
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | 심판사항 |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | 1020080063880; |
심사청구여부/일자 | Y (2008.01.04) |
심사청구항수 | 10 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 서울시립대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 동대문구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 박병은 | 대한민국 | 서울특별시 양천구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 김유 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 강남대로 ***, **층, **층(서초동, 태우빌딩)(특허법인세림) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 서울시립대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 동대문구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | 특허출원서 Patent Application |
2007.06.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0425882-88 |
2 | 보정요구서 Request for Amendment |
2007.06.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2007-0087469-98 |
3 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2007.07.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0534987-07 |
4 | [출원인코드정정]출원인코드 정보변경(경정), 정정신고서 [Applicant Code Correction] Report on Change (Correction), Correction to Applicant Code Information |
2007.09.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0698733-18 |
5 | [출원인변경]권리관계변경신고서 [Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status |
2007.10.26 | 불수리 (Non-acceptance) | 1-1-2007-0769274-17 |
6 | [출원인변경]권리관계변경신고서 [Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status |
2007.11.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0803366-07 |
7 | [심사청구]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination) |
2008.01.04 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0007376-38 |
8 | [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination) |
2008.01.07 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0011587-15 |
9 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2008.01.18 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0023602-85 |
10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2008.03.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0191898-75 |
11 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2008.03.17 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2008-0191897-29 |
12 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2008.05.07 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0247122-68 |
13 | 명세서 등 보정서(심사전치) Amendment to Description, etc(Reexamination) |
2008.07.02 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 7-1-2008-0028998-48 |
14 | [분할출원]특허출원서 [Divisional Application] Patent Application |
2008.07.02 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0478236-79 |
15 | 등록결정서 Decision to grant |
2008.07.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0389880-33 |
16 | [출원인변경]권리관계변경신고서 [Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status |
2008.08.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0605118-36 |
17 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.01.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5002044-04 |
18 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.01.03 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-0000287-10 |
19 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.01.17 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5009116-18 |
20 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.09.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5191631-69 |
번호 | 청구항 |
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1 |
1 삭제 |
2 |
2 소오스 및 드레인 영역과 그 사이에 채널영역이 형성되는 기판과,상기 기판의 채널영역 상측에 형성되는 하부전극층,상기 하부전극층상에 형성되는 강유전체층 및,상기 강유전체층상에 형성되는 상부전극층을 구비하여 구성되고,상기 하부전극층과 상부전극층을 통해 강유전체층에 전압을 인가하여 강유전체층을 분극화시키며,상기 하부전극층이 데이터 전극이고 상부전극층이 접지전극인 것을 특징으로 하는 MFMS형 강유전체 메모리 장치 |
3 |
3 삭제 |
4 |
4 제2항에 있어서,상기 하부전극 및 상부전극층이 도전성 금속, 금속 합금, 금속 화합물, 금속 산화물 및 도전성 유기물 중 적어도 하나를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 MFMS형 강유전체 메모리 장치 |
5 |
5 제2항에 있어서,상기 강유전체층이 산화물 강유전체, 고분자 강유전체, 불화물 강유전체, 강유전체 반도체 및 강유전체의 고형체 중 하나를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 MFMS형 강유전체 메모리 장치 |
6 |
6 삭제 |
7 |
7 삭제 |
8 |
8 삭제 |
9 |
9 삭제 |
10 |
10 제2항에 있어서,상기 하부전극층과 상부전극층은 상호 직교하는 방향으로 연장되면서 배설되는 것을 특징으로 하는 MFMS형 강유전체 메모리 장치 |
11 |
11 소오스 및 드레인 영역과 그 사이에 채널영역이 형성되는 기판과,상기 기판의 채널영역 상측에 형성되는 하부전극층,상기 하부전극층상에 형성되는 강유전체층 및,상기 강유전체층상에 형성되는 상부전극층을 구비하여 구성되고,상기 하부전극층과 상부전극층을 통해 강유전체층에 전압을 인가하여 강유전체층을 분극화시키며,상기 하부전극층이 접지 전극이고 상부전극층이 데이터 전극인 것을 특징으로 하는 강유전체 메모리 장치 |
12 |
12 삭제 |
13 |
13 소오스 및 드레인 영역과 그 사이에 채널영역이 형성되는 기판과,상기 기판의 채널영역 상측에 형성되는 하부전극층,상기 하부전극층상에 형성되는 강유전체층 및,상기 강유전체층상에 형성되는 상부전극층을 구비하여 구성되고,상기 하부전극층과 상부전극층을 통해 강유전체층에 전압을 인가하여 강유전체층을 분극화시키며,상기 하부전극층이 데이터 전극이고 상부전극층이 접지 전극인 것을 특징으로 하는 MFMS형 전계효과 트랜지스터 |
14 |
14 삭제 |
15 |
15 제13항에 있어서,상기 하부전극 및 상부전극층이 도전성 금속, 금속 합금, 금속 화합물, 금속 산화물 및 도전성 유기물 중 적어도 하나를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 MFMS형 전계효과 트랜지스터 |
16 |
16 제13항에 있어서,상기 강유전체층이 산화물 강유전체, 고분자 강유전체, 불화물 강유전체, 강유전체 반도체 및 강유전체의 고형체 중 적어도 하나를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 MFMS형 전계효과 트랜지스터 |
17 |
17 삭제 |
18 |
18 삭제 |
19 |
19 삭제 |
20 |
20 삭제 |
21 |
21 제13항에 있어서,상기 하부전극층과 상부전극층은 상호 직교하는 방향으로 연장되면서 배설되는 것을 특징으로 하는 MFMS형 전계효과 트랜지스터 |
22 |
22 소오스 및 드레인 영역과 그 사이에 채널영역이 형성되는 기판과,상기 기판의 채널영역 상측에 형성되는 하부전극층,상기 하부전극층상에 형성되는 강유전체층 및,상기 강유전체층상에 형성되는 상부전극층을 구비하여 구성되고,상기 하부전극층과 상부전극층을 통해 강유전체층에 전압을 인가하여 강유전체층을 분극화시키며,상기 하부전극층이 접지 전극이고 상부전극층이 데이터 전극인 것을 특징으로 하는 MFMS형 전계효과 트랜지스터 |
지정국 정보가 없습니다 |
---|
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
1 | JP05440852 | JP | 일본 | FAMILY |
2 | JP22514154 | JP | 일본 | FAMILY |
3 | WO2008072826 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
1 | JP2010514154 | JP | 일본 | DOCDBFAMILY |
2 | JP2010514154 | JP | 일본 | DOCDBFAMILY |
3 | JP2010514154 | JP | 일본 | DOCDBFAMILY |
4 | JP5440852 | JP | 일본 | DOCDBFAMILY |
국가 R&D 정보가 없습니다. |
---|
특허 등록번호 | 10-0866314-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20070612 출원 번호 : 1020070057534 공고 연월일 : 20081103 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20080725 청구범위의 항수 : 10 유별 : H01L 21/8247 발명의 명칭 : 엠에프엠에스형 전계효과 트랜지스터 및 강유전체 메모리장치 존속기간(예정)만료일 : 20191028 |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 서울시립대학교 산학협력단 서울특별시 동대문구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 258,000 원 | 2008년 10월 28일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 260,000 원 | 2011년 10월 18일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 260,000 원 | 2012년 10월 22일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 260,000 원 | 2013년 10월 23일 | 납입 |
제 7 년분 | 금 액 | 480,000 원 | 2014년 10월 27일 | 납입 |
제 8 년분 | 금 액 | 480,000 원 | 2015년 10월 01일 | 납입 |
제 9 년분 | 금 액 | 480,000 원 | 2016년 08월 05일 | 납입 |
제 10 년분 | 금 액 | 790,000 원 | 2017년 10월 10일 | 납입 |
제 11 년분 | 금 액 | 395,000 원 | 2018년 10월 01일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | 특허출원서 | 2007.06.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0425882-88 |
2 | 보정요구서 | 2007.06.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2007-0087469-98 |
3 | [출원서등 보정]보정서 | 2007.07.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0534987-07 |
4 | [출원인코드정정]출원인코드 정보변경(경정), 정정신고서 | 2007.09.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0698733-18 |
5 | [출원인변경]권리관계변경신고서 | 2007.10.26 | 불수리 (Non-acceptance) | 1-1-2007-0769274-17 |
6 | [출원인변경]권리관계변경신고서 | 2007.11.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0803366-07 |
7 | [심사청구]심사청구(우선심사신청)서 | 2008.01.04 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0007376-38 |
8 | [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서 | 2008.01.07 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0011587-15 |
9 | 의견제출통지서 | 2008.01.18 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0023602-85 |
10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2008.03.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0191898-75 |
11 | [명세서등 보정]보정서 | 2008.03.17 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2008-0191897-29 |
12 | 거절결정서 | 2008.05.07 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0247122-68 |
13 | 명세서 등 보정서(심사전치) | 2008.07.02 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 7-1-2008-0028998-48 |
14 | [분할출원]특허출원서 | 2008.07.02 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0478236-79 |
15 | 등록결정서 | 2008.07.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0389880-33 |
16 | [출원인변경]권리관계변경신고서 | 2008.08.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0605118-36 |
17 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.01.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5002044-04 |
18 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.01.03 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-0000287-10 |
19 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.01.17 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5009116-18 |
20 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.09.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5191631-69 |
기술정보가 없습니다 |
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과제고유번호 | 1345071254 |
---|---|
세부과제번호 | 핵06A1709 |
연구과제명 | 차세대융합센싱기술인력양성팀 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국학술진흥재단 |
연구주관기관명 | 서울시립대학교 |
성과제출연도 | 2008 |
연구기간 | 200603~201302 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
과제고유번호 | 1340010073 |
---|---|
세부과제번호 | 핵06A1709 |
연구과제명 | 차세대융합센싱기술인력양성팀 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국학술진흥재단 |
연구주관기관명 | 서울시립대학교 |
성과제출연도 | 2006 |
연구기간 | 200603~201202 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
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번호 | 심판번호(숫자) | 심판번호(문자) | 사건의표시 | 청구일 | 심결일자 |
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1 | 2008101005168 | 2008원5168 | 2007년 특허출원 제0057534호 거절결정불복심판 | 2008.06.05 | 2008.07.25 |