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실리콘 기판;상기 기판의 표면에 증착되는 절연층;상기 절연층상에 형성된 히터 및 전극;상기 히터 및 히터가 형성되지 않은 보호층 상에 형성되며, 히터와 전극간 절연을 위한 보호층; 및상기 보호층 상부에서 전극과 전극을 연결하는 촉매층;으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 수소센서
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제1항에 있어서, 상기 절연층과 히터 및 전극 사이에는 접착층이 형성된 것을 특징으로 하는 수소센서
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제1항에 있어서, 상기 절연층은 실리콘 질화물인 것을 특징으로 하는 수소센서
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제1항에 있어서, 상기 히터 및 전극은 백금 또는 팔라듐에서 선택되며, 동일 평면상에 형성되는 것을 특징으로 하는 수소센서
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제1항에 있어서, 상기 히터는 코일 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 수소센서
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제1항에 있어서, 상기 보호층은 실리콘 산화물인 것을 특징으로 하는 수소센서
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제1항에 있어서, 상기 촉매층은 백금 또는 팔라듐에서 선택되는 것을 특징으로 하는 수소센서
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실리콘 기판 표면에 절연층을 증착하고;상기 절연층 상부에 히터와 전극으로 사용되는 금속층을 증착하고;상기 금속층을 히터 및 전극으로 사용하기 위해 포토레지스터를 이용하여 히터 및 전극패턴을 형성하고;상기 히터와 전극과의 절연을 위해 보호층을 증착하고;상기 전극 표면상의 보호층을 제거하여 전극 패드를 형성하고; 그리고상기 보호층 상부에서 전극과 전극을 연결하도록 촉매층을 증착하는;단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 수소센서의 제조방법
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제8항에 있어서, 상기 절연층 상부에 접착층을 형성한 후 금속층을 증착하는 것을 특징으로 하는 수소센서의 제조방법
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제8항에 있어서, 상기 실리콘 기판 후면을 식각하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수소센서의 제조방법
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